| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| ·微机电系统与纳机电系统简介 | 第7-8页 |
| ·MEMS薄膜材料应力梯度在线测量的重要意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-11页 |
| ·本文的主要内容 | 第11-12页 |
| 第二章 基于相移显微干涉技术测量薄膜应力梯度方法 | 第12-28页 |
| ·干涉显微镜 | 第12-14页 |
| ·相移显微干涉测量系统 | 第14-17页 |
| ·测量系统总体结构 | 第14-16页 |
| ·测量系统组成 | 第16-17页 |
| ·相移显微干涉法测量微结构三维形貌的原理 | 第17-23页 |
| ·相移干涉基本原理 | 第17-19页 |
| ·相位提取算法 | 第19-21页 |
| ·相位解包裹原理 | 第21-23页 |
| ·应力梯度的力学理论分析 | 第23-27页 |
| ·MEMS薄膜应力梯度分析 | 第23-25页 |
| ·微悬臂梁结构应力梯度提取方法 | 第25-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 第三章 基于SU-8光刻胶制作薄膜微结构工艺流程及版图设计 | 第28-40页 |
| ·硅微细加工技术 | 第28-29页 |
| ·基于SU-8光刻胶光刻工艺研究 | 第29-32页 |
| ·测试结构版图设计 | 第32-36页 |
| ·测试结构尺寸设计 | 第32-34页 |
| ·测试结构版图设计 | 第34-36页 |
| ·基于SU-8光刻胶制作薄膜微结构流程及结果 | 第36-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 第四章 基于相移显微干涉法测量薄膜应力梯度结果 | 第40-50页 |
| ·光学测量系统的标定 | 第40-41页 |
| ·微悬臂梁结构三维形貌测量结果 | 第41-43页 |
| ·三维形貌测量中倾斜误差的补偿方法 | 第43-47页 |
| ·倾斜误差补偿的必要性 | 第43-44页 |
| ·调平基准面的确定 | 第44-46页 |
| ·表面形貌信息的重构 | 第46-47页 |
| ·薄膜应力梯度计算结果 | 第47-48页 |
| ·计算结果讨论 | 第48-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 第五章 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文及参与课题 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |