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基于L10FePt的垂直磁记录薄膜的制备及性能研究

中文摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-18页
   ·引言第10页
   ·磁记录原理及发展历程第10-14页
     ·磁记录的原理第10-12页
     ·磁记录的发展第12-14页
   ·L1_0FePt 材料介绍第14-15页
   ·L1_0FePt 的研究现状第15-17页
   ·本论文的主要研究内容第17-18页
第二章 薄膜的制备与表征方法第18-24页
   ·薄膜的制备方法第18-21页
     ·磁控溅射原理第18-20页
     ·基片选择与清洗第20页
     ·溅射过程与工艺条件第20-21页
     ·热处理过程第21页
   ·薄膜的表征方法第21-24页
     ·薄膜结构分析第21-22页
     ·薄膜组分及表面形貌分析第22-23页
     ·薄膜磁性分析第23-24页
第三章 FePt 薄膜的制备及性能研究第24-35页
   ·引言第24页
   ·FePt 沉积速率及薄膜组分的确定第24-27页
     ·样品制备与表征第24-25页
     ·实验结果与讨论第25-27页
   ·快速热处理温度对 FePt 薄膜结构及磁性的影响第27-30页
     ·样品制备及表征第27页
     ·实验结果与讨论第27-30页
   ·热处理时间对 FePt 薄膜结构与磁性的影响第30-32页
     ·样品制备与表征第30页
     ·实验结果与讨论第30-32页
   ·沉积温度对 FePt 薄膜结构及磁性的影响第32-34页
     ·样品制备与表征第32页
     ·实验结果与讨论第32-34页
   ·本章小结第34-35页
第四章 MgO 单晶上 FePt 薄膜的制备及性能研究第35-44页
   ·引言第35页
   ·样品制备与表征第35-36页
   ·实验结果与讨论第36-43页
     ·沉积温度对 FePt 薄膜结构与磁性的影响第36-39页
     ·薄膜厚度对 FePt 薄膜结构与磁性的影响第39-43页
   ·本章小结第43-44页
第五章 L1_0FePt/[FeNiPt]N复合膜的制备与性能研究第44-52页
   ·引言第44-45页
   ·样品制备与表征第45页
   ·实验结果与讨论第45-51页
     ·软磁层厚度对复合膜结构与磁性的影响第45-49页
     ·软磁层不同 Ni 含量对样品磁性能的影响第49-51页
   ·本章小结第51-52页
第六章 总结与展望第52-54页
   ·总结第52-53页
   ·展望第53-54页
参考文献第54-61页
致谢第61-62页
攻读硕士期间主要的研究成果第62页

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