| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-19页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的概述 | 第13-15页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的分类 | 第13页 |
| ·ZnO 薄膜的结构及特性 | 第13-14页 |
| ·AZO 薄膜的特性 | 第14-15页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的应用 | 第15-16页 |
| ·ITO 薄膜的主要应用 | 第15页 |
| ·ZnO 薄膜的主要应用 | 第15-16页 |
| ·TCO 薄膜的其他应用 | 第16页 |
| ·AZO 薄膜国内外研究现状及存在问题 | 第16-18页 |
| ·AZO 薄膜国内外研究现状 | 第16-18页 |
| ·AZO 薄膜研究存在的问题 | 第18页 |
| ·本论文研究的内容 | 第18-19页 |
| 第2章 常见的薄膜制备方法和性能测试手段 | 第19-30页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第19-26页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第19-20页 |
| ·溅射法 | 第20-22页 |
| ·喷雾热分解法 | 第22-23页 |
| ·化学气相沉积法 | 第23-24页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第24页 |
| ·真空蒸发沉积法 | 第24-25页 |
| ·分子束外延法 | 第25-26页 |
| ·薄膜性能的测试手段 | 第26-30页 |
| ·透射率的测试 | 第26-27页 |
| ·电阻率的测试 | 第27页 |
| ·晶体结构分析 | 第27-28页 |
| ·表面形貌观察 | 第28-30页 |
| 第3章 溶胶-凝胶法制备 AZO 薄膜 | 第30-36页 |
| ·正交实验 | 第30-31页 |
| ·Sol-gel 法制备 AZO 薄膜的工艺过程 | 第31-33页 |
| ·溶胶的配置 | 第31页 |
| ·衬底的清洗 | 第31-32页 |
| ·AZO 薄膜制备所需的仪器设备 | 第32-33页 |
| ·AZO 薄膜的制备 | 第33-36页 |
| ·薄膜制备过程 | 第33-34页 |
| ·薄膜的热处理 | 第34-36页 |
| 第4章 工艺参数对薄膜性质的影响 | 第36-52页 |
| ·薄膜层数对性能的影响 | 第36-41页 |
| ·薄膜层数对透射率的影响 | 第36-37页 |
| ·薄膜层数对导电性能的影响 | 第37-38页 |
| ·薄膜层数对晶体结构的影响 | 第38-40页 |
| ·不同层 AZO 薄膜的 SEM 分析 | 第40-41页 |
| ·Al 离子掺杂对薄膜性能的影响 | 第41-45页 |
| ·Al 离子掺杂对薄膜透射率的影响 | 第41-42页 |
| ·Al 离子掺杂对薄膜导电性能的影响 | 第42-43页 |
| ·Al 离子掺杂对薄膜晶体结构的影响 | 第43-44页 |
| ·不同 Al 离子掺杂薄膜的 SEM 分析 | 第44-45页 |
| ·退火处理对薄膜性能的影响 | 第45-49页 |
| ·退火时间对薄膜透射率的影响 | 第46页 |
| ·退火时间对薄膜导电性能的影响 | 第46-47页 |
| ·退火时间对薄膜晶体结构的影响 | 第47-48页 |
| ·不同退火时间薄膜的 SEM 分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-52页 |
| 第5章 AZO 薄膜表面改性 | 第52-58页 |
| ·醋酸和稀盐酸的混合液对 AZO 薄膜性能的影响 | 第52-55页 |
| ·醋酸和稀盐酸的混合液对 AZO 薄膜透射率的影响 | 第52-53页 |
| ·醋酸和稀盐酸的混合液对 AZO 薄膜导电性的影响 | 第53-54页 |
| ·醋酸和稀盐酸的混合液对 AZO 薄膜表面结构的影响 | 第54-55页 |
| ·稀盐酸对 AZO 薄膜性能的影响 | 第55-57页 |
| ·稀盐酸对薄膜透射率的影响 | 第55页 |
| ·稀盐酸对薄膜导电性的影响 | 第55-56页 |
| ·稀盐酸对薄膜表面形貌的影响 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第6章 结论与展望 | 第58-60页 |
| ·结论 | 第58-59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
