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电子束蒸发制备稀土掺杂ZnO薄膜及其发光性能研究

摘要第1-8页
Abstract第8-9页
第1章 绪论第9-16页
   ·ZnO 的基本性质和研究现状第9-11页
     ·ZnO 的研究现状第9-10页
     ·ZnO 的基本性质第10-11页
   ·稀土元素的概述与发光特性第11-13页
     ·稀土元素的概述第11-12页
     ·稀土元素的发光特性第12-13页
   ·稀土掺杂 ZnO 的研究现状和前景第13-14页
   ·本文研究内容第14-15页
   ·本章小结第15-16页
第2章 ZnO:Eu~(3+)薄膜的制备与表征方法第16-25页
   ·ZnO:Eu~(3+)薄膜材料的制备方法第16-22页
     ·磁控溅射法第16页
     ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel)第16-17页
     ·脉冲激光沉积法(PLD)第17-18页
     ·电子束蒸发法第18-22页
   ·ZnO:Eu~(3+)材料的表征方法第22-24页
     ·X 射线衍射仪(XRD)第22-23页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第23页
     ·荧光光谱分析第23-24页
     ·拉曼光谱分析(Raman)第24页
   ·本章小结第24-25页
第3章 ZnO:Eu~(3+)薄膜的制备及表征第25-31页
   ·电子束蒸发法 ZnO:Eu~(3+)薄膜的晶体结构分析第25-28页
     ·ZnO:Eu~(3+)薄膜样品制备的实验参数第25-26页
     ·XRD 谱的结果与分析第26-27页
     ·不同浓度的 Eu~(3+)离子掺杂对 ZnO:Eu~(3+)薄膜晶体结构的影响第27-28页
     ·退火对 ZnO:Eu~(3+)薄膜晶体结构的影响第28页
   ·电子束蒸发法 ZnO:Eu~(3+)薄膜的形貌分析第28-30页
     ·ZnO:Eu~(3+)薄膜样品制备的实验参数第28页
     ·SEM 图结果与分析第28-30页
     ·不同浓度的 Eu~(3+)离子掺杂对 ZnO:Eu~(3+)薄膜形貌的影响第30页
     ·退火对 ZnO:Eu~(3+)薄膜形貌的影响第30页
   ·本章小结第30-31页
第4章 电子束蒸发法制备 ZnO:Eu~(3+)薄膜的发光特性第31-39页
   ·ZnO:Eu~(3+)薄膜样品制备的实验参数第31页
   ·不同浓度的 ZnO:Eu~(3+)薄膜发光性能第31-35页
   ·不同退火温度下的光致发光性能第35-37页
   ·Eu~(3+)离子掺杂浓度对 ZnO:Eu~(3+)薄膜发光性能的影响第37页
   ·退火对 ZnO:Eu~(3+)薄膜发光性能的影响第37-38页
   ·本章小结第38-39页
结论第39-40页
参考文献第40-44页
攻读硕士学位期间发表论文第44-46页
致谢第46页

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