| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·纳米材料 | 第9-13页 |
| ·纳米材料概述 | 第9-10页 |
| ·纳米薄膜概述 | 第10-13页 |
| ·薄膜制备方法 | 第13-15页 |
| ·薄膜的形成与生长 | 第15-16页 |
| ·薄膜生长的分子动力学研究现状 | 第16-17页 |
| ·本文的研究内容及意义 | 第17-18页 |
| 第2章 分子动力学方法与技术 | 第18-27页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·分子动力学基本原理 | 第18-24页 |
| ·积分方法 | 第19-21页 |
| ·势函数 | 第21-22页 |
| ·系综与控温控压 | 第22页 |
| ·周期性边界条件 | 第22-23页 |
| ·分子动力学模拟步骤 | 第23-24页 |
| ·结构分析技术 | 第24-25页 |
| ·径向分布函数 | 第24页 |
| ·键对分析技术 | 第24-25页 |
| ·模拟软件及可视化 | 第25-26页 |
| ·小结 | 第26-27页 |
| 第3章 入射角度对 Ti/Al(001)沉积薄膜的影响 | 第27-35页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·模型的建立与模拟过程 | 第27-30页 |
| ·模型的建立 | 第27-28页 |
| ·势函数的选取 | 第28-29页 |
| ·模拟过程 | 第29-30页 |
| ·模拟不同入射角度对 Ti/Al(001)沉积薄膜的影响 | 第30-34页 |
| ·薄膜沉积形貌及表面粗糙度 | 第30-33页 |
| ·微观结构分析 | 第33-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第4章 入射能量对 Ti/Al(001)沉积薄膜的影响 | 第35-42页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·入射能量对沉积薄膜的影响 | 第35-41页 |
| ·薄膜沉积形貌及表面粗糙度 | 第35-39页 |
| ·微观结构分析 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 衬底温度对 Ti/Al(001)沉积薄膜的影响 | 第42-49页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·衬底温度对沉积薄膜的影响 | 第42-48页 |
| ·薄膜沉积形貌及表面粗糙度 | 第42-47页 |
| ·微观结构分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第6章 总结与展望 | 第49-51页 |
| ·工作总结 | 第49-50页 |
| ·工作展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 硕士期间已公开发表的论文 | 第58页 |
