| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·问题的提出与硬质薄膜材料的现状分析 | 第9-15页 |
| ·问题的提出 | 第9-11页 |
| ·硬质薄膜的研究现状 | 第11-14页 |
| ·硬质薄膜材料的制备方法 | 第14-15页 |
| ·本文研究的研究意义和主要内容 | 第15-18页 |
| ·研究的主要意义 | 第15-16页 |
| ·研究的主要内容 | 第16-18页 |
| 2 理论方法 | 第18-23页 |
| ·支持向量回归原理简介 | 第18-20页 |
| ·核函数 | 第20-21页 |
| ·粒子群优化算法 | 第21-22页 |
| ·留一法交叉验证理论 | 第22-23页 |
| 3 TiN 类硬质薄膜材料的制备工艺优化研究 | 第23-39页 |
| ·基于 SVR 的 ZL109 铝合金表面多弧离子镀 TiN 薄膜的工艺参数优化研究 | 第23-30页 |
| ·数据 | 第24页 |
| ·模型的建立 | 第24页 |
| ·模型的评估 | 第24-25页 |
| ·结果和讨论 | 第25-27页 |
| ·不同工艺参数对 TiN 薄膜硬度的影响 | 第27-30页 |
| ·结论 | 第30页 |
| ·基于 SVR 的脉冲激光沉积 TiN/AlN 多层薄膜的工艺优化 | 第30-39页 |
| ·数据 | 第31页 |
| ·模型的建立 | 第31页 |
| ·模型的评估 | 第31-32页 |
| ·SVR 模型的性能分析 | 第32-35页 |
| ·工艺参数寻优 | 第35页 |
| ·SVR 模型的多因素分析 | 第35-38页 |
| ·结论 | 第38-39页 |
| 4 非平衡磁控溅射沉积类金刚石薄膜的工艺优化研究 | 第39-47页 |
| ·不同工艺参数下摩擦系数和沉积速率模型的建立 | 第39-40页 |
| ·数据 | 第39页 |
| ·模型的建立 | 第39-40页 |
| ·SVR 模型性能的评估 | 第40页 |
| ·SVR 模型的摩擦系数和沉积速率的计算结果和讨论 | 第40-43页 |
| ·不同工艺参数对摩擦系数的灵敏度分析 | 第43-44页 |
| ·Zr-DLC 薄膜的摩擦系数的多因素分析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 结论与展望 | 第47-49页 |
| ·结论 | 第47-48页 |
| ·后续工作展望 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 附录 | 第54-55页 |
| A: 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第54页 |
| B: 作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第54-55页 |
