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晶体结构和界面修饰对TiO2薄膜电致电阻效应的影响

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-20页
   ·引言第8-10页
   ·非易失性存储器的种类及RRAM的特点第10-12页
   ·电阻式随机存储器(RRAM)的研究现状第12-18页
     ·阻变存储器电阻转变机理的研究现状第12-17页
     ·各种对于器件性能进行改善的方法第17-18页
   ·本文的研究内容和意义第18-20页
2 Ag/TiO_2/Ag异质结的阻变特性第20-30页
   ·引言第20页
   ·实验制备和表征第20-25页
     ·靶材制备与表征第20-21页
     ·薄膜制备第21-22页
     ·顶电极制备第22-23页
     ·样品的表征第23-25页
   ·样品测试第25-28页
     ·四种不同结构阻变层异质结的I-V特性研究第25-26页
     ·四种不同结构阻变层的Ag/TiO2/Pt异质结的保持性和疲劳性研究第26-28页
   ·机理分析第28-29页
   ·小结第29-30页
3 Au纳米颗粒对Ag/TiO_2/Pt异质结阻变性能的影响第30-39页
   ·引言第30页
   ·实验方法第30-31页
   ·样品测试与表征第31-36页
     ·不同Au溅射时间的Ag/TiO2/Au(nanodots)/Pt异质结的I-V特性研究第31-34页
     ·不同Au沉积时间Ag/TiO2/Au(nanodots)/Pt异质结的保持性和疲劳性研究第34-36页
   ·机理分析第36-38页
   ·小结第38-39页
4 总结与展望第39-41页
   ·论文总结第39页
   ·展望与建议第39-41页
参考文献第41-45页
致谢第45页

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