| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·GLC薄膜概述 | 第9-13页 |
| ·非晶碳薄膜 | 第9-11页 |
| ·GLC薄膜的结构和性能 | 第11-12页 |
| ·GLC薄膜的研究现状 | 第12-13页 |
| ·GLC薄膜的摩擦学 | 第13-14页 |
| ·高功率脉冲磁控溅射技术(HIPIMS) | 第14-18页 |
| ·溅射镀膜技术 | 第14-15页 |
| ·高功率脉冲磁控溅射技术 | 第15-18页 |
| ·本课题的研究内容和目标 | 第18-19页 |
| 第二章 实验与测试方法 | 第19-27页 |
| ·GLC薄膜制备方法 | 第19-20页 |
| ·GLC薄膜制备工艺 | 第20-21页 |
| ·GLC薄膜测试表征方法 | 第21-27页 |
| ·结构和成分表征 | 第21-24页 |
| ·性能测试 | 第24-25页 |
| ·摩擦学性能 | 第25-27页 |
| 第三章 叠加HIPIMS对直流溅射GLC薄膜结构和性能影响 | 第27-38页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·实验部分 | 第27-28页 |
| ·结果与讨论 | 第28-36页 |
| ·GLC膜的结构 | 第28-34页 |
| ·GLC薄膜的力学性能 | 第34页 |
| ·GLC薄膜的摩擦学性能 | 第34-36页 |
| ·小结 | 第36-38页 |
| 第四章 HIPIMS脉冲电压对GLC薄膜结构和性能影响 | 第38-49页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·实验部分 | 第38-39页 |
| ·结果与讨论 | 第39-47页 |
| ·脉冲电压对GLC薄膜结构的影响 | 第39-43页 |
| ·脉冲电压对GLC薄膜力学性能的影响 | 第43-44页 |
| ·脉冲电压对GLC薄膜摩擦学性能的影响 | 第44-47页 |
| ·小结 | 第47-49页 |
| 第五章 基底偏压对HIPIMS制备GLC薄膜结构和性能影响 | 第49-62页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·实验部分 | 第49-50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-60页 |
| ·基底偏压对GLC膜结构的影响 | 第50-56页 |
| ·基底偏压对GLC薄膜力学性能的影响 | 第56-58页 |
| ·基底偏压对GLC薄膜摩擦学性能的影响 | 第58-60页 |
| ·小结 | 第60-62页 |
| 第六章 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-72页 |
| 硕士期间发表文章及专利 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
