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磁控溅射金属掺杂的ZnO:Li薄膜的制备及其特性研究

摘要第1-8页
Abstract第8-10页
目录第10-13页
插图目录第13-15页
附表目录第15-16页
第一章 绪论第16-24页
   ·ZnO:Li薄膜概述第16-18页
     ·ZnO薄膜简介第16-17页
     ·ZnO:Li薄膜的结构与基本特征第17-18页
   ·金属掺杂ZnO:Li薄膜的概述第18-19页
     ·金属掺杂ZnO薄膜的概述第18-19页
     ·金属掺杂ZnO:Li薄膜简介第19页
   ·金属掺杂ZnO:Li薄膜的研究进展第19-22页
   ·金属掺杂的ZnO:Li薄膜的研究目的及意义第22-24页
第二章 金属掺杂ZnO:Li薄膜的制备及其表征方法第24-27页
   ·金属掺杂ZnO:Li薄膜的制备方法第24-25页
   ·金属掺杂ZnO:Li薄膜的表征方法第25-27页
第三章 ZnO:Li薄膜的制备及其性质第27-39页
   ·不同实验参数下ZnO:Li薄膜的制备及其结构第27-33页
     ·不同氩氧比率下制备的ZnO:Li薄膜第28-30页
     ·不同工作压强下制备的ZnO:Li薄膜第30-31页
     ·不同溅射功率下制备的ZnO:Li薄膜第31-33页
   ·不同Li含量的ZnO:Li薄膜的制备及其结构第33-35页
     ·不同Li含量的ZnO:Li薄膜的制备第33-34页
     ·不同Li含量的ZnO:Li薄膜的结构第34-35页
   ·不同Li含量的ZnO:Li薄膜的表面形貌第35-37页
   ·ZnO:Li薄膜的光学特性第37-39页
第四章 金属掺杂的ZnO:Li薄膜的制备及其性质第39-63页
   ·不同Co溅射功率下的Co掺杂ZnO:Li薄膜的制备及其性质第39-46页
     ·不同Co溅射功率的Co掺杂ZnO:Li薄膜的制备及其结构第39-41页
     ·不同Co溅射功率下制备的Co掺杂ZnO:Li薄膜的表面形貌和元素组成第41-43页
     ·不同Co溅射功率下制备的Co掺杂ZnO:Li薄膜的磁学性质第43-46页
   ·不同Li含量的Co掺杂ZnO:Li薄膜的制备及其性质第46-52页
     ·不同Li含量的Co掺杂ZnO:Li薄膜的制备及其结构第46-48页
     ·不同Li含量的Co掺杂ZnO:Li薄膜的表面形貌及其元素组成第48-52页
   ·Cu掺杂ZnO:Li薄膜的制备及其性质第52-59页
     ·不同Cu溅射功率下的Cu掺杂ZnO:Li薄膜的制备及其结构第52-54页
     ·不同Cu溅射功率下制备的Cu掺杂ZnO:Li薄膜的表面形貌和元素组成第54-56页
     ·Cu掺杂ZnO:Li薄膜的磁学性质第56-57页
     ·不同Li含量的Cu掺杂ZnO:Li薄膜的制备及其结构第57-59页
   ·Al掺杂ZnO:Li薄膜的制备及其性质第59-63页
     ·不同Al溅射功率下制备的Al掺杂ZnO:Li薄膜的制备及其结构第59-60页
     ·Al掺杂ZnO:Li薄膜的表面形貌及其元素组成第60-62页
     ·Al掺杂ZnO:Li薄膜的光学性质第62-63页
第五章 结论第63-65页
参考文献第65-69页
致谢第69-70页
附录A:攻读硕士期间发表的文章第70-71页

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