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一般性问题
硅微槽道的纳秒激光与水射流复合加工工艺基础研究
多线电火花线切割加工放电率检测及放电点分布研究
半导体/电光材料界面光栅诱导等离激元与亚波长耦合
接触型局域SP光刻直写设备中的散热研究
热氧化氮化锌制备p型氧化锌及其光电特性的研究
Ⅱ-Ⅵ族半导体纳米团簇双光子吸收特性的理论研究
复合尖锥场发射阵列研究
面向半导体生产线的工件聚类方法研究
电力半导体器件风冷散热系统实验装置设计
面向复杂半导体生产线的多产品工件合并方法研究
接触型局域SP光刻直写头的悬持结构设计及仿真分析
半导体光电子器件在微波光子技术中的应用研究
某型低接触电阻率异面GaAs半导体光导开关的研究
浸液控制系统中通信方案的设计与实现
（V,Cu,Fe）单掺ZnO电子结构和磁光性能影响的研究
硅基氧化锌纳米结构材料的白光特性研究
低维半导体纳米材料的制备、微观结构及其形成机理的研究
局域介电方法及其在Si/SiO2和Si/HfO2结构上的应用研究
TiO2薄膜的制备及电学性能研究
辐照对远红外和紫外波段光学材料的影响
玻璃/硅多层键合平板激光诱导热裂切割技术研究
基于微纳加工技术改性半导体材料及其光电器件制备研究
基于虚拟仪器的PSD相位法多光束同步检测系统研究
应用于扫描干涉光刻系统的光束自动对齐系统设计
超高速碰撞形成的带电粒子对半导体器件的电磁干扰特性研究
OCD系统中DSP和超分辨技术的研究与应用
超薄SiGe虚拟衬底的制备与建模
信息材料GaN凝固过程中的微观结构演变
新型铸锭炉制造技术研究
Fe掺杂ZnO基稀磁半导体微结构和铁磁性的研究
基于数字掩模技术聚合物二元相位光栅的制作
纳米半导体材料的低温制备及性能研究
硅基GaN谐振光栅及其传感应用
卧式HVPE生长GaN的计算机模拟
极紫外光刻聚光镜冷却优化及光机热分析
基于自由曲面方法的极紫外收集系统设计
若干并苯衍生物有机半导体材料中载流子传输性能的理论研究
超声波强化浸出氧化焙烧渣中锗的动力学实验研究
吹气—造渣联合精炼去除工业硅中硼的研究
Al，Si掺杂对CdSe光电性质影响的第一性原理研究
InSb和CuInSe2基半导体材料的制备及其热电性能研究
碳纤维纸上ZnO纳米阵列的制备及其光电性质的研究
微波焙烧预处理-超声波辅助浸出锗精矿的基础研究
双键及侧链效应对苯并噻二唑共轭聚合物光电性质影响研究
Li、N不同掺杂构型对ZnO光电特性影响的研究
立式HVPE生长GaN的计算机模拟
BaTiO3/ZnO外延异质结的生长和电学性质
Mn掺杂ZnO量子线的电子结构及磁学性质研究
面向SystemC的软错误敏感度分析方法
多孔硅气敏特性研究
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