新型铸锭炉制造技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-12页 |
| 1.1.1 硅锭的制备方法 | 第9-10页 |
| 1.1.2 多晶硅锭的制备 | 第10-12页 |
| 1.2 多晶硅铸锭的原理和工艺 | 第12-13页 |
| 1.2.1 定向凝固法铸造多晶硅的原理 | 第12-13页 |
| 1.2.2 定向凝固铸造多晶硅的工艺过程 | 第13页 |
| 1.3 有限元法在晶体生长中的应用 | 第13-14页 |
| 1.4 课题研究的主要内容 | 第14-15页 |
| 第2章 机械部分设计 | 第15-26页 |
| 2.1 平台机架的设计 | 第17-18页 |
| 2.2 真空炉体的设计 | 第18-24页 |
| 2.2.1 筒体的设计 | 第19-21页 |
| 2.2.2 封头的设计 | 第21-22页 |
| 2.2.3 炉壳顶部平盖的设计 | 第22-23页 |
| 2.2.4 炉壳其它部件的设计 | 第23-24页 |
| 2.3 机械部分的其它设计 | 第24-25页 |
| 2.3.1 采用红外测温方法进行测温 | 第24页 |
| 2.3.2 采用双侧抽空管路进行抽空 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 电气控制部分设计 | 第26-35页 |
| 3.1 多晶硅铸锭炉控制系统结构 | 第26-27页 |
| 3.1.1 真空系统 | 第26页 |
| 3.1.2 温控系统 | 第26-27页 |
| 3.1.3 测温系统 | 第27页 |
| 3.1.4 保温层升降系统 | 第27页 |
| 3.1.5 压力控制系统 | 第27页 |
| 3.2 PLC程序各系统编程原理设计 | 第27-34页 |
| 3.2.1 控制器 | 第27页 |
| 3.2.2 控制模块 | 第27-29页 |
| 3.2.3 主要实现功能 | 第29页 |
| 3.2.4 下炉体升降控制 | 第29-30页 |
| 3.2.5 隔热笼升降控制 | 第30-31页 |
| 3.2.6 炉温控制 | 第31页 |
| 3.2.7 炉压控制 | 第31页 |
| 3.2.8 冷却水监控 | 第31-32页 |
| 3.2.9 工艺执行 | 第32-34页 |
| 3.3 人机界面设计 | 第34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 热场部分设计 | 第35-41页 |
| 4.1 热场的设计 | 第35-40页 |
| 4.1.1 加热器的设计 | 第35-38页 |
| 4.1.2 隔热笼的设计 | 第38-40页 |
| 4.2 本章小结 | 第40-41页 |
| 第5章 工艺部分设计 | 第41-44页 |
| 5.1 工艺段介绍 | 第41-43页 |
| 5.2 工艺调整 | 第43页 |
| 5.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 第6章 结论与展望 | 第44-46页 |
| 6.1 项目研究成果 | 第44页 |
| 6.2 课题研究展望 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 作者简介 | 第51页 |
