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基于微纳加工技术改性半导体材料及其光电器件制备研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第13-40页
    1.1 课题背景及研究的目的和意义第13-15页
    1.2 微纳加工技术简介第15-24页
        1.2.1 电子束刻蚀第16-19页
        1.2.2 光学投影刻蚀第19-20页
        1.2.3 聚焦离子束刻蚀第20-21页
        1.2.4 极紫外光刻和X射线光刻第21-22页
        1.2.5 微纳加工的表面等离子体结构第22-24页
    1.3 半导体材料光电器件介绍第24-37页
        1.3.1 硅基光电器件第24-26页
        1.3.2 石墨烯半导体光电器件简介第26-30页
        1.3.3 有机/无机钙钛矿光电器件第30-37页
    1.4 课题的目的、创新以及研究内容第37-40页
第2章 新型硅基光学磁性反射镜第40-48页
    2.1 引言第40页
    2.2 实验部分第40-41页
        2.2.1 实验试剂与设备第40-41页
        2.2.2 实验方法第41页
    2.3 结果与讨论第41-47页
        2.3.1 硅基光学磁反射镜的设计第41-46页
        2.3.2 硅基光学磁反射镜的制备第46-47页
    2.4 本章小结第47-48页
第3章 石墨烯表面拉曼增强及其生物探测第48-71页
    3.1 引言第48-49页
    3.2 实验部分第49-51页
        3.2.1 实验试剂与仪器第49页
        3.2.2 实验方法第49-51页
    3.3 局域表面等离子体增强光耦合第51-57页
        3.3.1 局域表面等离子体金属天线第51-52页
        3.3.2 石墨烯与光的相互作用第52-55页
        3.3.3 石墨烯与光耦合增强第55-57页
    3.4 金属表面等离子体增强石墨烯表面拉曼光谱研究第57-66页
        3.4.1 器件结构与成分分析第57-60页
        3.4.2 器件光学性质研究第60-66页
    3.5 癌细胞探测第66-69页
    3.6 本章小结第69-71页
第4章 有机/无机钙钛矿微型发光器件第71-93页
    4.1 引言第71-72页
    4.2 实验部分第72-74页
        4.2.1 实验试剂与仪器第72页
        4.2.2 实验方法第72-74页
    4.3 结果与讨论第74-92页
        4.3.1 荧光光谱第74-77页
        4.3.2 荧光寿命第77-79页
        4.3.3 成分分析第79-86页
        4.3.4 晶体结构分析第86-89页
        4.3.5 微纳加工发光器件第89-92页
    4.4 本章小结第92-93页
第5章 有机/无机钙钛矿的离子传输及光电探测器第93-109页
    5.1 引言第93-94页
    5.2 实验部分第94页
        5.2.1 实验试剂与设备第94页
        5.2.2 实验方法第94页
    5.3 结果与讨论第94-108页
        5.3.1 电子束与物质作用理论第94-95页
        5.3.2 离子迁移研究第95-103页
        5.3.3 成分分析第103-104页
        5.3.4 有机/无机钙钛矿光电探测器第104-108页
    5.4 本章小结第108-109页
结论第109-111页
参考文献第111-129页
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果第129-131页
致谢第131-132页
作者简历第132页

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