| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题选题背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状与分析 | 第11-19页 |
| 1.3 本论文的结构安排 | 第19-21页 |
| 第二章 基于光栅的新型光束自动对齐系统方案设计 | 第21-29页 |
| 2.1 两种分光形式的分析 | 第21-22页 |
| 2.1.1 分光镜分光分析 | 第21页 |
| 2.1.2 光栅分光分析 | 第21-22页 |
| 2.2 探测器件的选择 | 第22页 |
| 2.3 PSD的工作原理 | 第22-24页 |
| 2.4 电动镜座 | 第24页 |
| 2.5 自动对齐系统方案设计 | 第24-28页 |
| 2.5.1 干涉光束空间位姿分析 | 第25页 |
| 2.5.2 光束自动对齐系统在扫描干涉光刻法中意义 | 第25-26页 |
| 2.5.3 光束自动对齐系统整体方案 | 第26-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 自动对齐测量系统各模块设计 | 第29-52页 |
| 3.1 光栅主要性能参数及选型 | 第29-32页 |
| 3.1.1 透射光栅主要性能参数分析 | 第29-30页 |
| 3.1.2 透射光栅的选型 | 第30页 |
| 3.1.3 透射光栅衍射效率的仿真与实验测量 | 第30-32页 |
| 3.2 PSD主要特性参数及精度影响因素 | 第32-46页 |
| 3.2.1 PSD主要性能参数分析 | 第32-39页 |
| 3.2.1.1 PSD工作区域大小 | 第32页 |
| 3.2.1.2 PSD位置分辨率探究 | 第32-33页 |
| 3.2.1.3 PSD测量系统位置分辨率测量与精度标定 | 第33-39页 |
| 3.2.2 PSD测量系统实验注意事项 | 第39-40页 |
| 3.2.3 PSD选型 | 第40-41页 |
| 3.2.4 PSD数字化噪声 | 第41-43页 |
| 3.2.5 PSD测量精度影响因素积累幅值谱密度分析 | 第43-44页 |
| 3.2.6 PSD温升实验 | 第44-46页 |
| 3.3 光源选择 | 第46-47页 |
| 3.4 系统调节器件的选择 | 第47-50页 |
| 3.4.1 电动镜座线性度实验 | 第47-48页 |
| 3.4.2 电动镜座绝对精度实验 | 第48-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 控制算法及控制程序设计 | 第52-60页 |
| 4.1 研华PCI-1747U基本性能参数 | 第52页 |
| 4.2 自动对齐系统控制算法研究 | 第52-56页 |
| 4.3 基于LABWINDOWS/CVI软硬件设计 | 第56-59页 |
| 4.3.1 基于LabWindows/CVI的硬件设计 | 第56-57页 |
| 4.3.2 基于LabWindows/CVI的软件设计 | 第57-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 自动对齐系统理论精度与实验结果分析 | 第60-64页 |
| 5.1 自动对齐系统理论精度分析 | 第60-61页 |
| 5.2 自动对齐系统精度测量实验 | 第61-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 总结 | 第64-65页 |
| 6.2 展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第71-72页 |
| 附录A 部分控制程序代码 | 第72-78页 |
