| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-11页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第8页 |
| 1.1.2 研究的目的及意义 | 第8-11页 |
| 1.2 极紫外光刻光源及聚光系统的发展概况 | 第11-17页 |
| 1.2.1 国外极紫外光刻光源研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.2 国外Wolter型聚光系统冷却性能研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2.3 国内极紫外光刻研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 镜体表面非均匀热流密度的求解 | 第18-27页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 镜体热环境分析 | 第18-19页 |
| 2.3 辐射源—镜体表面间的热辐射计算 | 第19-26页 |
| 2.3.1 单层聚光镜设计 | 第19-20页 |
| 2.3.2 极紫外光源在镜体镜面所产生的热流密度分布 | 第20-23页 |
| 2.3.3 消杂系统在镜体表面所产生的热流密度分布 | 第23-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 镜体冷却管排列布局优化设计 | 第27-39页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 镜体冷却管总体布局设计 | 第27-28页 |
| 3.3 冷却管轴向非均匀分布的理论分析及数值计算 | 第28-34页 |
| 3.4 镜体残余温差引起的形变求解 | 第34-38页 |
| 3.4.1 镜体支撑结构的介绍及模型嵌入 | 第34-35页 |
| 3.4.2 基于ANSYS静力分析模块的镜体形变求解 | 第35-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 镜体残余形变对聚焦光斑质量的影响 | 第39-52页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 有限元分析数据的转换 | 第39-41页 |
| 4.3 Zernike环多项式系数的拟合求解 | 第41-44页 |
| 4.4 镜体形变对聚焦光斑的影响 | 第44-49页 |
| 4.5 验证传热模型及冷却方法的实验方案 | 第49-51页 |
| 4.6 本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
