接触型局域SP光刻直写头的悬持结构设计及仿真分析
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 等离子体光刻国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 接触型等离子体光刻研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 平面透镜等离子体光刻研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 等离子体直写光刻研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第16-18页 |
| 第二章 接触型局域SP直写光刻的理论基础 | 第18-32页 |
| 2.1 表面等离子体激元 | 第18-21页 |
| 2.1.1 表面等离子体激元的概念 | 第18-19页 |
| 2.1.2 表面等离子体激元的波矢推导 | 第19-21页 |
| 2.2 局域表面等离子体激元的概念 | 第21-26页 |
| 2.2.1 局域表面等离子的共振条件 | 第21-24页 |
| 2.2.2 局域表面等离子体增强特性 | 第24-26页 |
| 2.3 表面等离子体激元的激发方式 | 第26-29页 |
| 2.3.1 棱镜耦合 | 第27-28页 |
| 2.3.2 光栅耦合 | 第28-29页 |
| 2.3.3 近场耦合 | 第29页 |
| 2.4 局域表面等离子体激元应用于近场光刻 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 高位置精度圆形弹簧结构设计 | 第32-54页 |
| 3.1 有限元分析软件ANSYS简介 | 第32-33页 |
| 3.2 位置精度的定义 | 第33-34页 |
| 3.3 高位置精度圆形悬持弹簧的概念 | 第34-36页 |
| 3.4 高位置精度悬持弹簧的结构设计 | 第36-46页 |
| 3.4.1 圆形弹簧性能指标 | 第36-37页 |
| 3.4.2 圆形弹簧的材料选择 | 第37-38页 |
| 3.4.3 圆形弹簧垂直刚度设计 | 第38-39页 |
| 3.4.4 连接角 θ 对圆形弹簧的影响 | 第39-40页 |
| 3.4.5 圆形弹簧偏转刚度的设计 | 第40-41页 |
| 3.4.6 弹性臂数n对圆形弹簧的影响 | 第41-46页 |
| 3.5 与悬臂梁探针结构的对比 | 第46-53页 |
| 3.5.1 等效悬臂梁探针结构的几何参数 | 第46页 |
| 3.5.2 接触模式下两种探针结构的位置精度对比 | 第46-48页 |
| 3.5.3 扫描模式下两种探针结构的位置精度对比 | 第48-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 圆形弹簧应用于直写光刻的仿真分析 | 第54-64页 |
| 4.1 理想情况下的直写光刻动态仿真 | 第54-59页 |
| 4.1.1 仿真模型的简化 | 第54页 |
| 4.1.2 建立接触对 | 第54-55页 |
| 4.1.3 施加载荷 | 第55-56页 |
| 4.1.4 仿真结果分析 | 第56-59页 |
| 4.2 倾斜情况的直写光刻动态仿真 | 第59-63页 |
| 4.2.1 光刻胶倾斜角度对施加位移载荷的影响 | 第59-60页 |
| 4.2.2 探针沿倾斜光刻胶表面扫描分析 | 第60-63页 |
| 4.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 实验平台设计 | 第64-69页 |
| 5.1 实验平台的总体设计 | 第64页 |
| 5.2 气浮式光学平台的选择 | 第64-65页 |
| 5.3 纳米定位台的选择 | 第65-66页 |
| 5.4 五维调节架的选择 | 第66页 |
| 5.5 PSD的选择 | 第66-68页 |
| 5.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 全文总结 | 第69-70页 |
| 6.2 展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
