基于自由曲面方法的极紫外收集系统设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题背景 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外在收集系统及自由曲面方法的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 EUVL收集系统国内外发展现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 自由曲面方法国内外发展现状 | 第11-12页 |
| 1.3 研究的目的和意义 | 第12-14页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 自由曲面收集系统基础理论研究 | 第15-23页 |
| 2.1 极紫外收集系统特性分析 | 第15-19页 |
| 2.1.1 掠入射的工作原理 | 第15页 |
| 2.1.2 收集系统多层膜结构 | 第15-16页 |
| 2.1.3 多层嵌套式结构工作原理 | 第16-17页 |
| 2.1.4 自由曲面收集系统的参数分析 | 第17-19页 |
| 2.2 自由曲面收集系统光学设计方案 | 第19-22页 |
| 2.2.1 自由曲面收集系统光学设计要求 | 第19页 |
| 2.2.2 自由曲面收集系统光学设计思路 | 第19-21页 |
| 2.2.3 自由曲面收集系统设计指标论证 | 第21-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 自由曲面收集系统的设计 | 第23-31页 |
| 3.1 非成像光学 | 第23-26页 |
| 3.1.1 非成像光学的发展史 | 第23-24页 |
| 3.1.2 非成像光学的相关概念 | 第24-26页 |
| 3.2 自由曲面构造 | 第26-29页 |
| 3.2.1 自由曲面构造方法的概论 | 第26-27页 |
| 3.2.2 自由曲面的构造 | 第27-29页 |
| 3.3 极紫外收集系统自由曲面的设计 | 第29-30页 |
| 3.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第4章 自由曲面极紫外收集系统仿真 | 第31-44页 |
| 4.1 收集系统面型设计 | 第31-35页 |
| 4.2 收集系统的三维仿真 | 第35-36页 |
| 4.3 收集系统的光线追迹 | 第36-39页 |
| 4.4 仿真拟合曲线收集系统 | 第39-43页 |
| 4.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 结论 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-48页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第48-50页 |
| 致谢 | 第50页 |
