| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 立题背景 | 第10-12页 |
| 1.1.1 太阳能资源及利用 | 第10-12页 |
| 1.2 太阳能多晶硅中各杂质浓度标准 | 第12-14页 |
| 1.3 太阳能级多晶硅主要杂质元素 | 第14-16页 |
| 1.3.1 金属杂质 | 第14-15页 |
| 1.3.2 非金属杂质 | 第15-16页 |
| 1.4 太阳能多晶硅制备 | 第16-25页 |
| 1.4.1 化学法 | 第17-19页 |
| 1.4.2 物理法 | 第19-25页 |
| 1.5 本论文研究的意义、内容及创新点 | 第25-28页 |
| 1.5.1 本论文研究的意义 | 第25页 |
| 1.5.2 本论文研究的内容 | 第25-26页 |
| 1.5.3 本论文研究的创新点 | 第26-28页 |
| 第二章 工业硅的新型炉外精炼技术研究 | 第28-44页 |
| 2.1 新型炉外技术及其原理 | 第28-29页 |
| 2.2 实验设备及流程 | 第29-30页 |
| 2.2.1 实验设备 | 第29-30页 |
| 2.2.2 实验流程 | 第30页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第30-42页 |
| 2.3.1 吹气精炼硅的效果分析 | 第30-31页 |
| 2.3.2 样品硅的微观形貌分析 | 第31-40页 |
| 2.3.3 吹气精炼对杂质去除效果的分析 | 第40-42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 吹气联合熔渣精炼除硼 | 第44-72页 |
| 3.1 实验原理及方法 | 第44-49页 |
| 3.1.1 实验原理 | 第44-46页 |
| 3.1.2 实验方法 | 第46-49页 |
| 3.2 实验原料及设备 | 第49-50页 |
| 3.2.1 实验原料 | 第49页 |
| 3.2.2 实验设备 | 第49-50页 |
| 3.3 联合精炼过程中未添加SiO_2对硼去除的影响 | 第50-59页 |
| 3.3.1 联合精炼后的样品分析 | 第50-54页 |
| 3.3.2 不同CaO/CaCl_2对除硼效果的影响 | 第54-55页 |
| 3.3.3 不同渣硅比对除硼的影响 | 第55-56页 |
| 3.3.4 不同实验时间对除硼的影响 | 第56-57页 |
| 3.3.5 不同气体组成对除硼效果的影响 | 第57-58页 |
| 3.3.6 不同实验温度对除硼的影响 | 第58页 |
| 3.3.7 酸洗对除硼效果的影响 | 第58-59页 |
| 3.4 联合精炼过程中添加SiO_2对除硼的影响 | 第59-69页 |
| 3.4.1 熔渣精炼后的样品分析 | 第59-64页 |
| 3.4.2 CaO/SiO_2质量比对除硼效果的影响 | 第64-65页 |
| 3.4.3 渣硅比对除硼效果的影响 | 第65-66页 |
| 3.4.4 精炼时间对除硼效果的影响 | 第66-67页 |
| 3.4.5 酸洗对杂质的去除影响 | 第67页 |
| 3.4.6 气体流量比对除硼效果的影响 | 第67-69页 |
| 3.4.7 精炼温度对除硼效果的影响 | 第69页 |
| 3.5 本章小结 | 第69-72页 |
| 第四章 生成气态硼分子的动力学模拟 | 第72-92页 |
| 4.1 动力学模拟意义 | 第72-73页 |
| 4.2 生成气态硼分子的热力学计算 | 第73-75页 |
| 4.3 模拟计算方法 | 第75-76页 |
| 4.4 生成HBO气体的理论研究 | 第76-83页 |
| 4.4.1 OH~-在Si(111)-B体系的相互作用 | 第76-79页 |
| 4.4.2 OH~-在Si(111)-B体系的分子动力学模拟 | 第79-83页 |
| 4.5 生成BOCl气体的理论研究 | 第83-90页 |
| 4.5.1 O~(2-)在Si(111)-B体系的相互作用 | 第83-86页 |
| 4.5.2 Cl~-在Si(111)B-O~(2-)体系的相互作用 | 第86-90页 |
| 4.6 本章小结 | 第90-92页 |
| 第五章 结论与展望 | 第92-94页 |
| 5.1 结论 | 第92-93页 |
| 5.2 展望 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-104页 |
| 附录 | 第104页 |
| 附录A 攻读学位期间发表论文情况和荣誉 | 第104页 |
| 附录B 攻读学位期间参与科研项目情况 | 第104页 |
| 附录C 参加学术交流会议 | 第104页 |
