透明介质下微结构表面形貌的Linnik显微干涉测量技术

中文摘要	第1-4页
英文摘要	第4-7页
第一章 绪论	第7-14页
·MEMS 的发展概况	第7-9页
·MEMS 测试技术	第9-11页
·长工作距离及透过透明介质测量的研究现状	第11-12页
·课题研究的主要目的和内容	第12-14页
第二章 相移显微干涉测量技术	第14-26页
·显微干涉技术	第14-16页
·相移干涉技术	第16-22页
·时间相移干涉技术	第17-19页
·相位提取算法	第19-22页
·相位展开技术	第22-23页
·透明介质对于光路的影响	第23-26页
第三章 长工作距离显微干涉测量系统	第26-35页
·系统光路设计	第26-27页
·初期建立的长工作距离测量系统	第27-28页
·测量系统的改进设计	第28-35页
·照明系统及其固定装置	第30-31页
·成像与图像采集部分	第31-33页
·相移器及固定装置	第33-35页
第四章 实验及其分析	第35-54页
·表面形貌解调算法	第35-36页
·系统评价实验	第36-48页
·十倍显微物镜测试实验	第37-42页
·二十倍显微物镜测试实验	第42-46页
·五十倍显微物镜测试实验	第46-48页
·实际MEMS 器件测试实验	第48-54页
·矩形悬臂梁测试实验	第48-50页
·微谐振器测试实验	第50-54页
第五章 总结与展望	第54-55页
参考文献	第55-58页
发表论文和参加科研情况说明	第58-59页
致谢	第59页