六自由度纳米工作台驱动控制方法及系统研究
| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 致谢 | 第12-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-29页 |
| ·微位移驱动技术概述 | 第19-23页 |
| ·纳米工作台的研究现状 | 第23-25页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的发展状况 | 第25-27页 |
| ·论文研究来源及主要研究内容 | 第27-29页 |
| 第二章 六自由度纳米工作台并行控制方法研究 | 第29-38页 |
| ·六自由度纳米工作台整体结构形式设计及分析 | 第30-31页 |
| ·六自由度纳米工作台运动控制模型建立 | 第31-38页 |
| ·微动工作台单自由度运动控制模型 | 第32-34页 |
| ·微动工作台六自由度相关运动控制模型 | 第34-38页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动器高精度驱动控制策略研究 | 第38-66页 |
| ·压电陶瓷驱动器驱动原理 | 第38-40页 |
| ·压电陶瓷基本特性研究及全新控制策略的提出 | 第40-42页 |
| ·压电陶瓷驱动器的非线性、蠕变和迟滞特性 | 第40-41页 |
| ·压电陶瓷驱动器产生迟滞和蠕变的微观机理 | 第41-42页 |
| ·压电陶瓷驱动器全新控制策略的提出 | 第42页 |
| ·压电陶瓷蠕变特性及抗蠕变驱动方法研究 | 第42-54页 |
| ·压电陶瓷驱动器蠕变特性研究 | 第42-47页 |
| ·压电陶瓷抗蠕变驱动方法研究 | 第47-54页 |
| ·压电陶瓷驱动器抗迟滞驱动方法研究 | 第54-61页 |
| ·实验装置及实验研究程序设计 | 第54-55页 |
| ·实验及结果分析 | 第55-61页 |
| ·压电陶瓷非线性修正控制方法研究 | 第61-66页 |
| 第四章 多通道压电陶瓷驱动电源研究 | 第66-83页 |
| ·多通道压电陶瓷驱动电源整体结构设计 | 第66-68页 |
| ·多通道压电陶瓷驱动电源输入接口模块设计 | 第68-70页 |
| ·高压功率放大电路模块的设计 | 第70-75页 |
| ·高压功率放大电路设计 | 第70-73页 |
| ·高压功率放大电路直流稳压电源设计 | 第73-75页 |
| ·高压功率放大电路温度控制系统设计 | 第75-78页 |
| ·PA93高压功率运算放大器温度特性研究 | 第75-76页 |
| ·温度控制系统设计 | 第76-78页 |
| ·驱动电源的性能标定实验 | 第78-81页 |
| ·实验装置和测试系统构建 | 第78页 |
| ·电源线性度测试 | 第78-79页 |
| ·电源输出纹波测试 | 第79-80页 |
| ·电源漂移测试 | 第80-81页 |
| ·电源频率响应测试 | 第81页 |
| ·小结 | 第81-83页 |
| 第五章 六自由度工作台驱动特性标定实验 | 第83-92页 |
| ·六自由度微动工作台的定位精度分析 | 第83-84页 |
| ·六自由度微动工作台特性标定实验 | 第84-90页 |
| ·实验系统构建 | 第84-86页 |
| ·工作台运动特性标定实验 | 第86-89页 |
| ·压电陶瓷驱动器精确驱动控制模型 | 第89-90页 |
| ·工作台最终驱动特性标定实验 | 第90-92页 |
| 第六章 总结与展望 | 第92-95页 |
| ·研究工作的总结 | 第92-93页 |
| ·研究工作的展望 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-103页 |
| 附录 | 第103-125页 |
| 附录1:抗蠕变驱动程序代码 | 第103-105页 |
| 附录2:抗迟滞驱动程序代码 | 第105-114页 |
| 附录3:压电陶瓷驱动电源软件程序代码 | 第114-118页 |
| 附录4:六自由度工作台驱动控制程序 | 第118-125页 |
| 攻读博士学位期间发表论文及成果 | 第125-126页 |
