| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题研究背景 | 第9-10页 |
| ·MEMS动态测试技术 | 第10-13页 |
| ·频闪显微干涉系统 | 第11页 |
| ·计算机微视觉系统 | 第11-12页 |
| ·激光多普勒测试系统 | 第12-13页 |
| ·MEMS动态特性测试的激励技术和方法 | 第13-14页 |
| ·高温环境下MEMS微构件动态特性测试系统研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 测试系统设计 | 第18-25页 |
| ·测试装置的技术方案 | 第18-23页 |
| ·高温环境的产生 | 第18-20页 |
| ·激励方式的选择 | 第20-22页 |
| ·微构件温度控制 | 第22页 |
| ·微构件振动信号检测 | 第22-23页 |
| ·测试系统功能 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 微构件激励的实现 | 第25-37页 |
| ·放电激励方法 | 第25-30页 |
| ·底座激励原理 | 第25-27页 |
| ·尖端放电现象 | 第27-29页 |
| ·放电激励 | 第29-30页 |
| ·激励装置结构功能 | 第30-36页 |
| ·激励装置结构 | 第30-34页 |
| ·放电方式 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 微构件温度控制系统 | 第37-48页 |
| ·温度控制系统组成 | 第37-38页 |
| ·温度控制系统硬件 | 第38-41页 |
| ·温度控制软件 | 第41-47页 |
| ·虚拟仪器技术 | 第42-43页 |
| ·软件功能实现 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 MEMS微构件动态特性测试实验 | 第48-58页 |
| ·激光多普勒测振仪 | 第48-49页 |
| ·激光多普勒测振原理 | 第49-50页 |
| ·底座响应特性测试 | 第50-52页 |
| ·微构件谐振频率测试 | 第52-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |