单振子双腔并联无阀压电微泵的性能分析及仿真模拟
| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·微机电系统概述 | 第10页 |
| ·微流体控制系统概述 | 第10-11页 |
| ·微泵技术国内外发展概况 | 第11-16页 |
| ·无阀压电微泵的应用 | 第16-17页 |
| ·本文研究内容 | 第17-20页 |
| 第2章 单振子双腔并联无阀压电微泵 | 第20-24页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·单振子双腔并联无阀压电微泵的基本结构 | 第20-21页 |
| ·无阀压电微泵的工作原理 | 第21-22页 |
| ·单腔无阀压电微泵的工作原理 | 第21页 |
| ·单振子双腔并联无阀压电微泵的工作原理 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第3章 复合双压电层压电振子的性能分析 | 第24-46页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·压电驱动 | 第24-28页 |
| ·压电效应 | 第24-26页 |
| ·压电驱动器类型 | 第26-28页 |
| ·复合双压电层压电振子性能的理论分析 | 第28-34页 |
| ·复合双压电层压电振子的静态挠度分析 | 第28-33页 |
| ·复合双压电层压电振子动态分析 | 第33-34页 |
| ·复合双压电层压电振子的有限元模拟及其结果 | 第34-41页 |
| ·ANSYS压电分析功能简介 | 第34页 |
| ·建立复合双压电层压电振子的有限元模型 | 第34-37页 |
| ·复合双压电层压电振子结果的后处理 | 第37-41页 |
| ·复合双压电层压电振子求解结果分析 | 第41-44页 |
| ·静态求解结果分析 | 第41-43页 |
| ·模态和谐响应求解结果分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 扩散管/收缩管结构的性能分析 | 第46-58页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·扩散管/收缩管结构内流体的流动状态分析 | 第46-53页 |
| ·粘性流体的层流和紊流 | 第46-47页 |
| ·扩散管/收缩管结构的压力损失 | 第47-49页 |
| ·扩散管/收缩管结构内部流场的流动性能分析 | 第49-53页 |
| ·扩散管/收缩管结构有限元模拟 | 第53-57页 |
| ·扩散管/收缩管的有限元模型 | 第53-54页 |
| ·有限元模拟的结果及分析 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 单振子双腔并联无阀压电微泵全模型模拟 | 第58-68页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·单振子双腔并联压电微泵工作进程仿真 | 第58-63页 |
| ·实体建模 | 第59-60页 |
| ·边界条件 | 第60-61页 |
| ·单振子双腔并联压电微泵工作进程仿真结果 | 第61-63页 |
| ·单振子双腔并联压电微泵流体输出控制方式 | 第63-67页 |
| ·电压幅值控制单振子双腔并联无阀压电微泵输出 | 第63-66页 |
| ·电压的频率控制单振子双腔并联无阀压电微泵输出 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第6章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第77页 |
