精密微位移调整系统的设计与研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·国内外微位移技术发展现状 | 第7-8页 |
| ·微位移机构介绍 | 第8-9页 |
| ·精密工作台发展和研究概况 | 第9-11页 |
| ·本文研究内容 | 第11-12页 |
| 第二章 总体方案的设计 | 第12-30页 |
| ·总体技术指标 | 第12页 |
| ·系统的组成及工作原理 | 第12-13页 |
| ·设备的使用要求 | 第13页 |
| ·精密微位移调整台架理论模型 | 第13-24页 |
| ·光电仪器的选择 | 第24-28页 |
| ·总体方案设计 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 精密微位移调整台架整体结构设计 | 第30-46页 |
| ·关于CATIA | 第30-34页 |
| ·精密微位移工作台整体结构 | 第34-35页 |
| ·直线位移机构设计 | 第35-39页 |
| ·回转机构设计 | 第39-41页 |
| ·俯仰机构的设计 | 第41-44页 |
| ·精密微位移调整台架三维模型 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 滚动直线导轨副的有限元分析 | 第46-62页 |
| ·有限元软件 | 第46-49页 |
| ·基于ANSYS的静刚度数值分析 | 第49-55页 |
| ·滚动直线导轨副的模态分析 | 第55-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 滚动直线导轨副的精度研究 | 第62-67页 |
| ·导轨副运动精度分析 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-70页 |
