工作台微定位特性分析及误差补偿研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·国内现状 | 第9-10页 |
| ·国际现状 | 第10-12页 |
| ·课题来源 | 第12页 |
| ·主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 精密工作台系统分析 | 第14-21页 |
| ·导轨与驱动方式 | 第14-15页 |
| ·反馈系统 | 第15-17页 |
| ·测量装置 | 第15-16页 |
| ·控制部分 | 第16-17页 |
| ·精密工作台的结构 | 第17-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 工作台定位实验与分析 | 第21-40页 |
| ·运动特性实验 | 第21-27页 |
| ·采集实验数据 | 第21-23页 |
| ·工作台X 向运动实验 | 第23-27页 |
| ·运动特性分析 | 第27-30页 |
| ·低速爬行分析 | 第27-29页 |
| ·滞后性分析 | 第29页 |
| ·高速振荡分析 | 第29-30页 |
| ·定位特性分析 | 第30-31页 |
| ·基于ADAMS 宏动台建模与仿真 | 第31-39页 |
| ·仿真模型建立 | 第32-34页 |
| ·仿真实验 | 第34-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 定位系统的误差分析与补偿 | 第40-52页 |
| ·误差分析 | 第40-44页 |
| ·机械结构误差 | 第40-41页 |
| ·光栅测量系统误差 | 第41-44页 |
| ·环境误差 | 第44页 |
| ·定位误差建模 | 第44-47页 |
| ·定位误差补偿 | 第47-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 全文总结与展望 | 第52-54页 |
| ·论文总结 | 第52页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 附录 | 第59页 |
