| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-16页 |
| ·微驱动定位系统 | 第7页 |
| ·微位移执行器 | 第7-9页 |
| ·微角度驱动技术国内外研究现状 | 第9-14页 |
| ·国外研究现状 | 第9-12页 |
| ·国内研究现状 | 第12-13页 |
| ·国内外微角度驱动技术发展趋势 | 第13-14页 |
| ·本课题的主要研究内容和意义 | 第14-16页 |
| 第2章 圆光栅回转式压电执行器工作原理及结构设 计 | 第16-38页 |
| ·压电执行器运动原理及设计要求 | 第16-18页 |
| ·尺蠖运动原理 | 第16页 |
| ·回转式驱动原理简述 | 第16-17页 |
| ·压电执行器结构设计要求 | 第17-18页 |
| ·圆光栅回转式压电执行器的结构设计 | 第18-29页 |
| ·总体设计 | 第18-19页 |
| ·柔性铰链设计 | 第19-23页 |
| ·夹紧装置的设计 | 第23页 |
| ·驱动装置的设计 | 第23-25页 |
| ·圆光栅选型 | 第25-27页 |
| ·联动盘与圆光栅集成设计 | 第27-28页 |
| ·压电执行器设计 | 第28-29页 |
| ·压电材料特性及压电元件的选择 | 第29-37页 |
| ·压电陶瓷材料的特性 | 第29-31页 |
| ·压电元件的选择 | 第31-36页 |
| ·压电陶瓷性能实验 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 圆光栅回转式压电执行器角位移检测系统的设 计 | 第38-50页 |
| ·圆光栅传感器 | 第38-40页 |
| ·圆光栅 | 第38页 |
| ·R E SM 圆光栅工作原理 | 第38-39页 |
| ·圆光栅信号 | 第39-40页 |
| ·检测系统硬件设计 | 第40-46页 |
| ·总体设计 | 第40-41页 |
| ·C 8 0 5 1F 单片机及外部电路 | 第41-42页 |
| ·差分放大器 | 第42-43页 |
| ·电压比较器 | 第43-44页 |
| ·方波转脉冲 | 第44-46页 |
| ·脉冲计数 | 第46页 |
| ·检测系统软件设计 | 第46-50页 |
| ·设计原理 | 第46-48页 |
| ·程序流程图 | 第48-50页 |
| 第4章 圆光栅回转式压电执行器驱动控制系统的设计 | 第50-63页 |
| ·压电执行器控制系统设计 | 第50-54页 |
| ·驱动控制信号 | 第50页 |
| ·单片机控制系统的设计 | 第50-54页 |
| ·压电陶瓷驱动电源设计 | 第54-60页 |
| ·压电陶瓷驱动电源类型 | 第54-55页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的设计要求 | 第55-56页 |
| ·总体设计 | 第56-57页 |
| ·放大电路设计 | 第57-58页 |
| ·前级稳压电路设计 | 第58-59页 |
| ·15 V 电源设计 | 第59-60页 |
| ·驱动电源性能测试 | 第60-63页 |
| 第5章 圆光栅回转式压电执行器性能测试实验及结果分析 | 第63-75页 |
| ·实验装置 | 第63页 |
| ·实验及数据处理 | 第63-74页 |
| ·固定电源电压时运动角位移随电源频率变化实 验 | 第63-66页 |
| ·固定电源频率时运动角位移随电源电压变化实 验 | 第66-68页 |
| ·速度测试实验 | 第68-69页 |
| ·最小步距与最大步距测试实验 | 第69-70页 |
| ·非线性测试实验 | 第70-72页 |
| ·行程测试实验 | 第72页 |
| ·系统重复性实验 | 第72-73页 |
| ·闭环控制定位精度测试实验 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 总结及展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 论文和参加科研情况说明 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
