| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-14页 |
| ·微定位机构 | 第9-11页 |
| ·微定位机构研究现状 | 第11-13页 |
| ·微定位平台系统的检测装置及控制系统 | 第13-14页 |
| ·微定位工作台关键技术研究存在问题 | 第14页 |
| ·本课题研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 微定位平台机构设计 | 第16-40页 |
| ·前言 | 第16页 |
| ·柔性铰链 | 第16-20页 |
| ·不同剖面机构形式柔性铰链对比 | 第17-18页 |
| ·直角剖面形式柔性铰链 | 第18-20页 |
| ·柔性铰链平行板移动副 | 第20-26页 |
| ·单平行四杆机构 | 第21-22页 |
| ·双平行四杆机构 | 第22-23页 |
| ·双复合平行板移动副 | 第23-25页 |
| ·两种平行板移动副机构的比较 | 第25-26页 |
| ·有限元分析 | 第26-32页 |
| ·机构有限元模型的建立 | 第27页 |
| ·平行板移动副的静态分析 | 第27-30页 |
| ·平行板移动副的动力学分析 | 第30-32页 |
| ·微定位平台机构设计与分析 | 第32-39页 |
| ·微定位平台的设计原则 | 第32-33页 |
| ·微定位平台机构设计 | 第33页 |
| ·微定位平台有限元建模 | 第33-35页 |
| ·微定位平台位移分析 | 第35-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 基于伪刚体模型法的微定位平台建模 | 第40-54页 |
| ·前言 | 第40页 |
| ·伪刚体模型法 | 第40-49页 |
| ·伪刚体模型法 | 第40-43页 |
| ·柔性铰链平行板移动副伪刚体模型 | 第43-47页 |
| ·算例和验证 | 第47-49页 |
| ·微定位平台伪刚体模型 | 第49-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 压电陶瓷驱动器的特性分析 | 第54-62页 |
| ·前言 | 第54页 |
| ·压电陶瓷驱动器的驱动机理分析 | 第54-55页 |
| ·压电效应 | 第54-55页 |
| ·压电陶瓷驱动器特性及实验研究 | 第55-57页 |
| ·迟滞非线性分析 | 第55-56页 |
| ·迟滞特性实验测试 | 第56-57页 |
| ·压电陶瓷驱动器迟滞非线性Bouc-Wen建模分析 | 第57-61页 |
| ·Bouc-Wen模型简介 | 第57-58页 |
| ·压电陶瓷驱动器的Bouc-Wen模型 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 微定位平台系统实验 | 第62-67页 |
| ·前言 | 第62页 |
| ·微定位平台实验系统的构建 | 第62-63页 |
| ·微定位平台静态特性实验研究 | 第63-64页 |
| ·微定位平台静态刚度实验研究 | 第63页 |
| ·静态特性实验 | 第63-64页 |
| ·动态特性实验研究 | 第64-65页 |
| ·影响微定位平台精度的因素分析 | 第65-66页 |
| ·原理机构误差 | 第65页 |
| ·安装误差 | 第65-66页 |
| ·提高精度的措施 | 第66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·总结 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |