电喷雾测试与离子检测电极的工艺研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
1 绪论	第9-20页
·电喷雾与质谱技术	第9-11页
·电喷雾的历史发展	第9页
·质谱技术	第9-11页
·电喷雾与质谱的联用	第11页
·电喷雾离子源	第11-15页
·电喷雾离子源的发展方向	第11-12页
·电喷雾离子源的结构	第12-15页
·电喷雾的理论	第15-17页
·电喷雾离子化的第一个过程	第15-17页
·电喷雾离子化的第二个过程	第17页
·离子检测电极	第17-19页
·课题研究主要内容	第19-20页
2 电喷雾的测试	第20-32页
·泰勒锥与喷雾形状	第21-23页
·泰勒锥与射流	第21页
·喷雾形状	第21-23页
·电喷雾模式	第23-25页
·滴模式	第23页
·脉动模式	第23页
·锥射流模式	第23页
·泰勒锥	第23页
·多射流模式一	第23-24页
·多射流模式二	第24-25页
·电压的影响	第25页
·距离的影响	第25-27页
·对激发电压的影响	第25-27页
·对电喷雾模式的影响	第27页
·流量的影响	第27-30页
·纳升喷雾的流量对电流的影响	第27-28页
·流量对喷雾膨胀性的影响	第28-30页
·本章小结	第30-32页
3 离子检测电极的工艺制作	第32-48页
·离子检测电极的设计思想	第32-33页
·离子检测电极的工艺流程	第33-47页
·清洗并氧化硅片	第36-37页
·第一次光刻	第37-41页
·溅射电极层	第41-42页
·剥离金属	第42-45页
·第二次光刻	第45-47页
·本章小结	第47-48页
结论	第48-49页
参考文献	第49-52页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第52-53页
致谢	第53-54页