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硅片超精密磨削减薄工艺基础研究
自支撑金刚石衬底上GaN、AIN薄膜ECR-PEMOCVD法生长研究
金属/SiC半导体接触的SiC表面等离子体改性研究
氧化锌和银基电子材料的制备及应用研究
Ga2O3薄膜的电子束蒸发制备与掺杂及其性质研究
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