精密PSD微位移在线测量技术的研究与应用
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·非接触微位移测量方法的介绍 | 第9-13页 |
| ·非光学测量方法 | 第10-11页 |
| ·光学测量方法 | 第11-13页 |
| ·国内外研究进展 | 第13-17页 |
| ·PSD 光电传感器件的进展 | 第13-16页 |
| ·PSD 微位移测量仪的现状与应用 | 第16-17页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第17-21页 |
| 第二章 PSD 微位移精密测量理论分析 | 第21-39页 |
| ·位置敏感器件 PSD 理论基础 | 第21-25页 |
| ·横向光电效应 | 第21-22页 |
| ·PSD 方程—Lucovusky 方程 | 第22-24页 |
| ·PSD 检测光斑重心原理 | 第24-25页 |
| ·激光三角法概述 | 第25-30页 |
| ·激光三角法微位移测量原理 | 第25-29页 |
| ·差动激光三角法测厚原理 | 第29-30页 |
| ·模拟信号的幅度调制-解调原理 | 第30-37页 |
| ·模拟信号的幅度调制 | 第30-34页 |
| ·调幅信号的解调 | 第34-37页 |
| ·微位移测量系统方案设计 | 第37-39页 |
| 第三章 微位移测量光学系统的设计 | 第39-76页 |
| ·指示光源的优选 | 第39-45页 |
| ·种类选择 | 第39-40页 |
| ·信噪比综合分析 | 第40-44页 |
| ·光源的确定 | 第44-45页 |
| ·光斑质量对测量的影响分析与系统改进 | 第45-48页 |
| ·光斑高频噪声分析与抑制 | 第45-46页 |
| ·光斑整体偏移分析与抑制 | 第46-47页 |
| ·实验验证与分析 | 第47-48页 |
| ·被测表面特征对测量的影响分析与系统改进 | 第48-63页 |
| ·像斑强度变化对测量影响分析与自适应 | 第49-53页 |
| ·表面特征不均对像斑重心的影响分析与改进 | 第53-57页 |
| ·散斑效应对像斑重心的影响分析与系统优化 | 第57-63页 |
| ·成像透镜设计与像质分析 | 第63-70页 |
| ·成像透镜参数分析 | 第63-65页 |
| ·code v 软件镜头设计 | 第65-67页 |
| ·像质分析 | 第67-70页 |
| ·光路结构设计 | 第70-76页 |
| ·测量系统设计要求 | 第70-71页 |
| ·结构设计 | 第71-76页 |
| 第四章 PSD信号处理模块的设计 | 第76-105页 |
| ·信道干扰信号的影响分析与消除 | 第76-90页 |
| ·PSD 器件的暗电流和外界杂散光 | 第76-77页 |
| ·噪声 | 第77-79页 |
| ·零点的漂移 | 第79-80页 |
| ·信道干扰信号的消除 | 第80-90页 |
| ·电路不对称性的分析与解决 | 第90-96页 |
| ·电路不对称性的分析 | 第90-93页 |
| ·电路不对称性的解决 | 第93-96页 |
| ·系统非线性的分析与校正 | 第96-101页 |
| ·系统非线性的分析 | 第97-99页 |
| ·系统非线性校正 | 第99-101页 |
| ·PSD 微位移测量仪系统软件 | 第101-105页 |
| ·系统软件设计 | 第101-103页 |
| ·系统协议设计 | 第103-105页 |
| 第五章 PSD 微位移测量系统的性能测试与分析 | 第105-111页 |
| ·线性度测量 | 第105-107页 |
| ·稳定性测量 | 第107页 |
| ·背景光与暗电流影响实验 | 第107-108页 |
| ·温漂实验 | 第108-109页 |
| ·信号处理模块温漂实验 | 第108-109页 |
| ·系统温漂实验 | 第109页 |
| ·被测表面特征影响实验 | 第109-111页 |
| 第六章 PSD 微位移测量系统的应用 | 第111-121页 |
| ·模型设计 | 第111-113页 |
| ·实验样机的设计与验证 | 第113-119页 |
| ·整机结构 | 第113-114页 |
| ·实验数据与结论 | 第114-119页 |
| ·工业样机的设计 | 第119-121页 |
| 第七章 总结与展望 | 第121-125页 |
| 参考文献 | 第125-134页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第134-135页 |
| 致谢 | 第135页 |
