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半导体器件制造工艺及设备
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掺杂
基于光载流子辐射的离子注入半导体电输运参数深度轮廓重建技术
辐照对远红外和紫外波段光学材料的影响
溶胶凝胶法制备乳胶磷扩散源及其性能研究
等离子体浸没离子注入改性氧化铟锡薄膜实验研究
离子注入法制备的金属纳米颗粒的同步辐射研究
密度泛函理论在晶体掺杂中的应用--Sr和磁性原子掺杂Ca_2Ge材料的第一性原理研究
二次离子质谱定性定量分析在半导体掺杂工艺中的应用
离子注入中金属污染的防治措施
钴离子注入氧化锌薄膜的结构和性质
先进离子注入机的应用及研究
钛离子注入对硅纳米孔柱阵列表面形貌与光致发光特性的调控
高能离子注入工艺入射角与高压器件阱工艺均一性关系的研究
N离子注入ZnO：Mn薄膜的特性研究
硅中H～+，He～+离子注入引起的物理效应与SOI高加速度传感器的研制
宽禁带半导体氧化锌晶体的离子注入光学效应研究
有关半导体工艺中离子注入能量的研究
100nm大角度离子注入机控制系统研究
离子注入硅退火及退火过程热力学研究
离子注入机均匀性的改进设计
SOI制备中氧离子注入缺陷的控制与研究
等离子体浸没离子注入技术在ZnO薄膜p型改性方面的应用研究
Mg掺杂GaN薄膜退火性质及GaN薄膜湿法刻蚀的研究
等离子体浸没离子注入系统及其应用研究
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