先进离子注入机的应用及研究

摘要	第3-4页
Abstract	第4页
引言	第5-7页
第一章 离子注入简介	第7-16页
第一节 离子注入原理	第7-10页
第二节 离子注入工艺的监控	第10-13页
第三节 离子注入工艺关键参数	第13-15页
第四节 本文研究的目的和主要内容	第15-16页
第二章 离子注入机简介	第16-24页
第一节 离子源部分简介	第16-18页
第二节 束线部分简介	第18-21页
第三节 靶室及终端台部分简介	第21-23页
第四节 本章小结	第23-24页
第三章 先进离子注入机简介	第24-55页
第一节 先进离子注入机能量模式简介	第24-30页
第二节 先进离子注入机离子源部分改造	第30-32页
第三节 先进离子注入机束线部分改造	第32-41页
第四节 先进离子注入机靶室及终端部分改造	第41-50页
第五节 先进离子注入机制成温度控制系统	第50-54页
第六节 本章小结	第54-55页
第四章 离子注入机间的工艺数据比较	第55-64页
第一节 离子注入工艺在晶圆上的测试方法	第55-56页
第二节 常温离子注入工艺在晶圆上的实验	第56-60页
第三节 低温离子注入工艺在晶圆上的实验	第60-63页
第四节 本章小结	第63-64页
第五章 全文总结及展望	第64-66页
参考文献	第66-70页