| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 引言 | 第5-7页 |
| 第一章 离子注入简介 | 第7-14页 |
| 第一节 离子注入原理 | 第7-9页 |
| 第二节 离子注入工艺的监控 | 第9-12页 |
| 第三节 离子注入工艺关键参数 | 第12-14页 |
| 第二章 离子注入中的能量污染 | 第14-21页 |
| 第一节 能量污染介绍 | 第14-16页 |
| 第二节 离子注入机加减速与能量污染的关系 | 第16-19页 |
| 第三节 能量污染与器件电性 | 第19-21页 |
| 第三章 能量污染对90nm工艺器件的影响 | 第21-33页 |
| 第一节 离子注入工艺的现状 | 第21-22页 |
| 第二节 离子注入工艺在晶圆上的测试实验 | 第22-23页 |
| 第三节 离子注入在90nm工艺中的实验设计 | 第23-30页 |
| 第四节 能量污染对90nm工艺器件的影响 | 第30-32页 |
| 第五节 实验总结 | 第32-33页 |
| 第四章 能量污染的挑战以及改善 | 第33-40页 |
| 第一节 能量污染对更小尺寸工艺机器的影响 | 第33-38页 |
| 第二节 能量污染的改善 | 第38-40页 |
| 第五章 论文总结 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-45页 |
| 致谢 | 第45-46页 |