| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第10-13页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 本论文主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 光生载流子辐射(PCR)检测技术基础 | 第13-18页 |
| 2.1 光热辐射(PTR)检测技术 | 第13-15页 |
| 2.1.1 光热辐射检测技术原理 | 第14-15页 |
| 2.1.2 光热辐射技术的特点和分类 | 第15页 |
| 2.2 光生载流子辐射（PCR）检测技术 | 第15-18页 |
| 2.2.1 光生载流子 | 第15-16页 |
| 2.2.2 PCR 检测技术原理 | 第16-18页 |
| 第三章 离子注入半导体多层模型建立和数值模拟 | 第18-46页 |
| 3.1 理论模型 | 第18-23页 |
| 3.1.1 三层和二层模型 | 第18-22页 |
| 3.1.2 非均匀多层模型 | 第22-23页 |
| 3.2 非均匀多层 PCR 信号理论 | 第23-37页 |
| 3.2.1 载流子传输方程基础 | 第23-24页 |
| 3.2.2 多层模型的建立和理论公式推导 | 第24-33页 |
| 3.2.3 电输运参数的深度轮廓 | 第33-37页 |
| 3.3 多层模型 PCR 信号振幅和相位的理论模拟 | 第37-45页 |
| 3.3.1 多层模型中层数的影响 | 第37-39页 |
| 3.3.2 多层模型中离子穿透层对 PCR 信号的影响 | 第39-42页 |
| 3.3.3 多层模型中扩散不均匀层参数对 PCR 信号的影响 | 第42-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 PCR 实验测量和电输运参数的深度轮廓重建 | 第46-55页 |
| 4.1 实验装置 | 第46-47页 |
| 4.2 实验过程和结果 | 第47-48页 |
| 4.3 拟合结果和扩散不均匀层电输运参数深度轮廓重建 | 第48-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 总结 | 第55-56页 |
| 5.2 展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
