| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第13-33页 |
| 1.1 磷扩散源 | 第13-17页 |
| 1.1.1 液态磷扩散源 | 第13-15页 |
| 1.1.2 固态磷扩散源 | 第15-17页 |
| 1.2 二氧化硅乳胶的制备方法 | 第17-23页 |
| 1.2.1 溶胶凝胶法 | 第17-21页 |
| 1.2.2 溶胶凝胶法制备二氧化硅乳胶 | 第21-23页 |
| 1.3 溶胶凝胶法掺杂磷工艺 | 第23-25页 |
| 1.3.1 溶胶凝胶法制备SiO_2-P_2O_5固体复合材料 | 第23-24页 |
| 1.3.2 溶胶凝胶法制备SiO_2-P_2O_5液态扩散源 | 第24-25页 |
| 1.4 旋涂扩散工艺简介 | 第25-31页 |
| 1.4.1 扩散 | 第25-28页 |
| 1.4.2 旋转涂布 | 第28-29页 |
| 1.4.3 反应旋涂扩散结果的两个电学参数 | 第29-31页 |
| 1.5 本课题的意义 | 第31-33页 |
| 第二章 二氧化硅乳胶的制备 | 第33-43页 |
| 2.1 引言 | 第33页 |
| 2.2 实验试剂及原料 | 第33-34页 |
| 2.3 实验仪器和设备 | 第34页 |
| 2.4 试验方案 | 第34-43页 |
| 2.4.1 溶剂对正硅酸乙酯的水解缩合反应的影响 | 第35-37页 |
| 2.4.2 催化剂对溶胶凝胶反应的影响 | 第37-38页 |
| 2.4.3 水的量对溶胶凝胶液稳定性及成膜性的影响 | 第38-43页 |
| 第三章 磷在二氧化硅乳胶中的溶解行为 | 第43-49页 |
| 3.1 技术背景 | 第43-44页 |
| 3.2 五氧化二磷在单独溶剂中的溶解行为 | 第44-45页 |
| 3.3 P_2O_5在乳胶液中的化学反应分析 | 第45-46页 |
| 3.4 关于五氧化二磷分散剂的选择 | 第46-49页 |
| 第四章 磷乳胶源性能评测及活性成分研究 | 第49-59页 |
| 4.1 磷乳胶源成膜性的评测 | 第49-51页 |
| 4.2 磷乳胶源掺杂方块电阻的评测 | 第51-53页 |
| 4.3 磷乳胶源活性成分的研究 | 第53-59页 |
| 4.3.1 热分析 | 第53-54页 |
| 4.3.2 X射线衍射 | 第54-56页 |
| 4.3.3 红外分析 | 第56-59页 |
| 第五章 磷源电参数的性能研究 | 第59-65页 |
| 5.1 掺杂工艺介绍 | 第59页 |
| 5.2 掺杂及掺杂后硅片电参数的检测 | 第59-61页 |
| 5.3 芯片最终完成情况 | 第61-65页 |
| 第六章 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第73-75页 |
| 作者和导师简介 | 第75-76页 |
| 专业学位硕士研究生学位论文答辩委员会决议书 | 第76-77页 |
