宽禁带半导体氧化锌晶体的离子注入光学效应研究
| 中文摘要 | 第1-12页 |
| ABSTRACT | 第12-17页 |
| 符号说明 | 第17-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-31页 |
| 第二章 理论基础介绍 | 第31-43页 |
| ·平面光波导理论 | 第32-37页 |
| ·稀土原子的发光原理 | 第37-39页 |
| ·离子注入模拟 | 第39-40页 |
| ·折射率拟合方法 | 第40-41页 |
| ·光束传播方法 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |
| 第三章 实验分析方法 | 第43-55页 |
| ·离子注入技术 | 第44-47页 |
| ·卢瑟福背散射/沟道分析技术 | 第47-50页 |
| ·棱镜耦合技术 | 第50-53页 |
| ·端面耦合技术 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第四章 离子注入氧化锌晶体的光波导特性研究 | 第55-86页 |
| ·氧离子注入氧化锌形成光波导的研究 | 第56-67页 |
| ·实验过程 | 第56-57页 |
| ·结果与讨论 | 第57-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| ·氦离子注入氧化锌形成光波导的研究 | 第67-76页 |
| ·实验过程 | 第67-68页 |
| ·结果与讨论 | 第68-75页 |
| ·小结 | 第75-76页 |
| ·硅离子注入氧化锌形成光波导的研究 | 第76-84页 |
| ·实验过程 | 第76-77页 |
| ·结果与讨论 | 第77-82页 |
| ·小结 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-86页 |
| 第五章 稀土离子注入氧化锌中的射程分布研究 | 第86-99页 |
| ·铥离子注入氧化锌射程分布及荧光特性研究 | 第87-95页 |
| ·实验过程 | 第87-88页 |
| ·结果与讨论 | 第88-94页 |
| ·小结 | 第94-95页 |
| ·稀土铥离子和镱离子共注氧化锌射程分布研究 | 第95-98页 |
| ·实验过程 | 第95-96页 |
| ·结果与讨论 | 第96-97页 |
| ·小结 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-99页 |
| 第六章 氧离子注入铥掺杂氧化锌光波导特性研究 | 第99-106页 |
| ·实验过程 | 第99-100页 |
| ·结果与讨论 | 第100-104页 |
| ·小结 | 第104-105页 |
| 参考文献 | 第105-106页 |
| 第七章 总结 | 第106-111页 |
| ·主要结果 | 第107-110页 |
| ·主要创新点 | 第110-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 攻读学位期间参与的项目、发表的论文和获得的奖励 | 第112-115页 |
| 附英文论文两篇 | 第115-128页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第128页 |
