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钴离子注入氧化锌薄膜的结构和性质

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第9-22页
    1.1 引言第9-10页
    1.2 稀磁半导体材料的概述第10-13页
    1.3 ZnO基稀磁半导体材料的概述第13-17页
        1.3.1 ZnO材料的基本性质第13-15页
        1.3.2 ZnO基稀磁半导体材料的研究进展第15-17页
    1.4 论文结构与主要研究内容第17-19页
    参考文献第19-22页
第二章 ZnO材料的制备技术和表征方法第22-37页
    2.1 ZnO材料的制备技术第22-23页
    2.2 离子注入第23-26页
    2.3 ZnO基稀磁半导体的材料表征方法第26-34页
        2.3.1 X射线衍射谱第26-29页
        2.3.2 拉曼光谱第29-31页
        2.3.3 光致发光谱第31-32页
        2.3.4 Hall 测量第32-33页
        2.3.5 PPMS 测量第33-34页
    2.4 小结第34-35页
    参考文献第35-37页
第三章 离子注入Co掺杂ZnO薄膜的结构和性质第37-54页
    3.1 引言第37-38页
    3.2 不同退火温度对材料结构和性质的影响第38-49页
    3.3 小结第49-50页
    参考文献第50-54页
第四章 不同能量和剂量Co离子注入的ZnO:Co样品的结构和性质第54-70页
    4.1 引言第54页
    4.2 不同注入能量和掺杂浓度的ZnO:Co样品的结构和性质研究第54-67页
    4.3 小结第67-68页
    参考文献第68-70页
第五章 总结与展望第70-73页
攻读硕士期间发表学术论文第73-74页
致谢第74-75页

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