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溅射
全数字化控制的中频磁控溅射电源研究
磁控溅射工艺及退火温度对h-BN薄膜的影响
磁控溅射法制备硅碳氮薄膜的研究
B2H6源掺杂溅射制备透明导电ZnO薄膜的研究
BST薄膜的射频溅射沉积及性能研究
用磁控溅射法生成β—C3N4的化学动力学—热力学模型
高温厚铝溅射时柱状突起缺陷的控制与优化
磁控溅射高频脉冲（A~2K）电源的研制
高性能磁控溅射靶枪的设计
磁控溅射工艺参数对DLC膜的综合摩擦学性能影响研究
基于大功率晶体管背面金属化溅射工艺的设计
直流磁控溅射制备ZnO：Sb薄膜及其光学性能研究
磁约束磁控溅射源的关键技术研究
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