| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 2 背景介绍 | 第14-23页 |
| ·铝薄膜成膜方法简介 | 第14-20页 |
| ·铝溅射的基本原理 | 第14-16页 |
| ·铝薄膜的生长过程 | 第16-19页 |
| ·铝薄膜的力学性能 | 第19-20页 |
| ·铝刻蚀简介 | 第20页 |
| ·铝薄膜在 BCD 工艺中的应用 | 第20-22页 |
| ·BCD 工艺基本概念 | 第20-21页 |
| ·铝薄膜在 BCD 工艺中的应用 | 第21-22页 |
| ·铝互连缺陷对产品的影响 | 第22-23页 |
| 3 铝柱状突起缺陷形成原因定位及根因分析 | 第23-41页 |
| ·铝柱状突起缺陷形成原因及危害分析 | 第23-28页 |
| ·工艺条件对铝柱状突起缺陷的影响分析 | 第28-32页 |
| ·铝溅射时温度变化分析 | 第32-41页 |
| 4 在现有条件下如何控制和优化铝柱状突起缺陷 | 第41-44页 |
| ·如何给爪式夹具降温 | 第41-42页 |
| ·在实际产品应用效果确认 | 第42-44页 |
| 5 总结和展望 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第46-49页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第49页 |