磁控溅射工艺参数对DLC膜的综合摩擦学性能影响研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-27页 |
| ·课题背景和研究意义 | 第11-12页 |
| ·类金刚石的结构 | 第12-14页 |
| ·类金刚石的性能和应用 | 第14-17页 |
| ·机械性能及应用 | 第14-15页 |
| ·电学性能及应用 | 第15-16页 |
| ·光学性能及应用 | 第16页 |
| ·生物医学性能及应用 | 第16-17页 |
| ·其它性能及应用 | 第17页 |
| ·类金刚石的制备技术 | 第17-23页 |
| ·离子束沉积 | 第18-19页 |
| ·磁控溅射 | 第19-22页 |
| ·真空阴极电弧沉积 | 第22-23页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积 | 第23页 |
| ·类金刚石薄膜改性 | 第23-26页 |
| ·多层膜技术 | 第24-25页 |
| ·掺杂技术 | 第25-26页 |
| ·本论文的研究内容 | 第26-27页 |
| 2 实验方案和分析方法 | 第27-33页 |
| ·实验设备 | 第27-29页 |
| ·实验方法 | 第29-31页 |
| ·基体准备 | 第29页 |
| ·DLC 薄膜制备工艺 | 第29-30页 |
| ·W-DLC 薄膜制备工艺 | 第30-31页 |
| ·薄膜表征 | 第31-33页 |
| ·表面形貌和厚度分析 | 第31页 |
| ·结构和成分分析 | 第31-32页 |
| ·力学性能分析 | 第32页 |
| ·摩擦学性能分析 | 第32-33页 |
| 3 DLC 薄膜的结构和性能 | 第33-53页 |
| ·DLC 薄膜的结构 | 第33-38页 |
| ·功率的影响 | 第33-36页 |
| ·负偏压的影响 | 第36-38页 |
| ·DLC 薄膜的形貌和厚度 | 第38-45页 |
| ·功率的影响 | 第38-41页 |
| ·负偏压的影响 | 第41-45页 |
| ·DLC 薄膜的力学性能 | 第45-49页 |
| ·功率的影响 | 第45-47页 |
| ·负偏压的影响 | 第47-49页 |
| ·DLC 薄膜的摩擦学性能 | 第49-52页 |
| ·功率的影响 | 第49-51页 |
| ·负偏压的影响 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 4 W-DLC 梯度复合薄膜的结构和性能 | 第53-79页 |
| ·W-DLC 梯度复合薄膜的成分和结构 | 第53-68页 |
| ·W-DLC 梯度复合薄膜的成分 | 第53-59页 |
| ·W-DLC 梯度复合薄膜的结构 | 第59-68页 |
| ·W-DLC 梯度复合薄膜的形貌 | 第68-71页 |
| ·W-DLC 梯度复合薄膜的力学性能 | 第71-75页 |
| ·纳米硬度和弹性模量 | 第71-74页 |
| ·膜基结合力 | 第74-75页 |
| ·W-DLC 梯度复合薄膜的摩擦学性能 | 第75-78页 |
| ·摩擦系数 | 第75-76页 |
| ·磨损率 | 第76-77页 |
| ·磨损机制 | 第77-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 5 结论 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 在学研究成果 | 第87页 |
