磁控溅射高频脉冲（A~2K）电源的研制
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·溅射技术的发展 | 第10-11页 |
| ·脉冲磁控溅射特点 | 第11-12页 |
| ·本课题的研究目标及内容 | 第12页 |
| ·本课题的研究意义，存在的难点和创新点 | 第12-13页 |
| ·本论文的结构和主要内容 | 第13-14页 |
| 第二章 A~2K 电源电路设计 | 第14-42页 |
| ·电源设计综合指标 | 第14页 |
| ·总体方案设计 | 第14-15页 |
| ·主回路设计 | 第15-27页 |
| ·电路拓扑的选择 | 第15-18页 |
| ·功率变压器的设计 | 第18-21页 |
| ·开关管及整流管的选择 | 第21-22页 |
| ·缓冲电路 | 第22-26页 |
| ·热设计 | 第26-27页 |
| ·控制及驱动电路设计 | 第27-42页 |
| ·桥式和正激控制电路 | 第27-32页 |
| ·逆变部分MCU 控制设计 | 第32-33页 |
| ·驱动电路设计 | 第33-39页 |
| ·MILLER 效应 | 第39-42页 |
| 第三章 调试及问题 | 第42-50页 |
| ·控制板调试 | 第42页 |
| ·驱动调试 | 第42-45页 |
| ·功率部分调试 | 第45-46页 |
| ·极限负载电流和电压波形 | 第46页 |
| ·实验及效果 | 第46-50页 |
| 第四章 总结与展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 附录A （攻读学位期间所发表的学术论文目录） | 第55-56页 |
| 附录B （电源实物图） | 第56页 |
