| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 磁控溅射技术介绍 | 第9-10页 |
| 1.2 中频磁控溅射电源简介 | 第10-11页 |
| 1.3 中频电源国内外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.4 中频电源的输出波形对镀膜的影响 | 第12-14页 |
| 1.5 数字电源的优点 | 第14-15页 |
| 1.6 FPGA 开发背景 | 第15-18页 |
| 1.6.1 FPGA 及 Cyclone 简介 | 第15-16页 |
| 1.6.2 开发工具及设计语言 | 第16-17页 |
| 1.6.3 FPGA 与 DSP 及 MCU 的比较 | 第17-18页 |
| 1.7 课题的研究目标 | 第18-19页 |
| 第二章 中频电源的硬件电路设计 | 第19-38页 |
| 2.1 系统的总体结构及工作原理 | 第19-20页 |
| 2.2 整流滤波电路元器件的计算与选择 | 第20-22页 |
| 2.3 Buck 斩波调压电路设计 | 第22-26页 |
| 2.3.1 Buck 斩波调压电路的原理 | 第22-23页 |
| 2.3.2 Buck 斩波调压电路元器件的计算与选择 | 第23-26页 |
| 2.4 全桥逆变电路设计 | 第26-29页 |
| 2.4.1 全桥逆变电路的原理 | 第26-27页 |
| 2.4.2 全桥逆变电路元器件的计算与选择 | 第27-29页 |
| 2.5 IGBT 的驱动电路设计 | 第29-32页 |
| 2.6 变压器一次侧电流峰值过流检测保护电路 | 第32-33页 |
| 2.7 变压器二次侧电流有效值检测采样电路 | 第33-35页 |
| 2.8 过热保护电路 | 第35-36页 |
| 2.9 键盘控制电路 | 第36-37页 |
| 2.10 液晶显示电路 | 第37页 |
| 2.11 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 中频电源数字控制系统设计 | 第38-58页 |
| 3.1 PID 控制器简介 | 第38-40页 |
| 3.1.1 PID 控制的基本原理 | 第38-39页 |
| 3.1.2 数字 PID 控制 | 第39-40页 |
| 3.2 控制系统等效电路的小信号建模 | 第40-42页 |
| 3.3 数字控制的几个关键问题 | 第42-44页 |
| 3.3.1 A/D 转换分辨率的影响 | 第42页 |
| 3.3.2 DPWM 分辨率的影响 | 第42-43页 |
| 3.3.3 时间延迟环节的影响 | 第43-44页 |
| 3.3.4 采样保持的影响 | 第44页 |
| 3.4 数字控制器的设计方法 | 第44-48页 |
| 3.5 磁控溅射的拉弧打火问题 | 第48-49页 |
| 3.5.1 打弧的检测判别方法 | 第49页 |
| 3.5.2 打弧的抑制熄灭方法 | 第49页 |
| 3.6 系统的主要软件设计 | 第49-57页 |
| 3.6.1 系统软件的总体设计 | 第49-51页 |
| 3.6.2 DPWM 信号的产生 | 第51-52页 |
| 3.6.3 A/D 采样转换 | 第52-54页 |
| 3.6.4 PID 控制器 | 第54-55页 |
| 3.6.5 打弧的检测与抑制 | 第55-56页 |
| 3.6.6 液晶显示界面 | 第56-57页 |
| 3.7 本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 实验分析 | 第58-63页 |
| 4.1 实验结果 | 第58-61页 |
| 4.2 抗干扰减噪措施 | 第61-62页 |
| 4.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 1 部分硬件电路原理图 | 第68-71页 |
| 附录 2 部分 VHDL 代码 | 第71-76页 |
| 发表论文及参与科研情况说明 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |