| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·前言 | 第9-10页 |
| ·BST 的结构性能及应用 | 第10-11页 |
| ·BST 薄膜的制备方法 | 第11-15页 |
| ·BST 薄膜的主要表征方法 | 第15-17页 |
| ·BST 薄膜的研究现状 | 第17-19页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第19-20页 |
| 2 BST 薄膜的溅射沉积 | 第20-27页 |
| ·靶材的制备 | 第20-23页 |
| ·BST 薄膜的结构 | 第23-24页 |
| ·溅射BST 薄膜的工艺参数 | 第24-25页 |
| ·BST 薄膜的制备流程 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 薄膜测试结果分析 | 第27-44页 |
| ·BST 薄膜的物相结构分析 | 第27-29页 |
| ·BST 薄膜的微观结构分析 | 第29-31页 |
| ·BST 薄膜的EDS 能谱分析 | 第31-33页 |
| ·BST 薄膜的透射电镜分析 | 第33-37页 |
| ·BST 薄膜的XPS 能谱分析 | 第37-41页 |
| ·BST 薄膜的微波介电性能分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 4 总结与展望 | 第44-46页 |
| ·实验总结 | 第44页 |
| ·实验下一步展望 | 第44-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |