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真空获得技术及设备
无油涡旋真空泵的计算机模拟与模态分析
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多级罗茨干式真空泵的流动特性研究
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油液抽真空除气装置的设计与研究
频谱细化方法在真空泵轴承故障诊断中的应用研究
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快速响应低耗气真空集成元件的研究
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单真空发生器吸取系统多吸头间失效遮断技术研究
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螺杆型干式真空泵转子特性的研究
特殊真空系统的监控开发
大尺寸硅片真空夹持系统的研究
双螺杆真空泵转子型线设计与仿真研究
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