基于扩散泵和射流泵原理的微小型真空泵的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·国内外微型泵与微型真空泵的研究进展 | 第10-15页 |
| ·本文研究内容和创新点 | 第15-17页 |
| 第2章 射流泵和扩散泵的工作原理 | 第17-28页 |
| ·射流泵工作原理 | 第17-18页 |
| ·扩散泵的工作原理 | 第18-19页 |
| ·射流泵的抽气特性计算的理论模型 | 第19-24页 |
| ·抽气模型的建立 | 第19-20页 |
| ·抽气模型的求解 | 第20-24页 |
| ·影响扩散泵性能的主要因素 | 第24-26页 |
| ·蒸汽喷射速度以及角度对扩散泵性能的影响 | 第25页 |
| ·真空材料对真空泵真空度的影响 | 第25-26页 |
| ·扩散泵返油问题对扩散泵性能的影响 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 微型真空泵的结构计算以及参数选择 | 第28-38页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·扩散泵的设计计算原则 | 第28页 |
| ·微型真空泵的设计计算 | 第28-37页 |
| ·扩散泵一级喷嘴的设计计算 | 第31-34页 |
| ·第二级与第三级扩散泵喷嘴尺寸的计算 | 第34-35页 |
| ·各级喷嘴之间距离的确定 | 第35页 |
| ·各级喷嘴导流管入口面积的设计计算 | 第35-36页 |
| ·射流泵加热器功率的计算 | 第36页 |
| ·微型真空泵的返流问题 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 微型真空泵的CFX模拟和实体制作 | 第38-50页 |
| ·ANSYS-CFX软件简介 | 第38-39页 |
| ·CFX软件结构 | 第38-39页 |
| ·CFX可计算的物理问题 | 第39页 |
| ·微型真空泵的三维建模 | 第39-40页 |
| ·微型真空泵数值模拟模型的建立 | 第40页 |
| ·网格划分、数学模型与流体物性的选择 | 第40页 |
| ·CFX数值模 | 第40-48页 |
| ·喷嘴处的CFX数值模拟 | 第40-44页 |
| ·微型真空泵整体结构的数值模拟 | 第44-48页 |
| ·微型真空泵的制造 | 第48-49页 |
| ·微型真空泵加工结构的确定与工艺讨论 | 第48-49页 |
| ·微型真空泵加工材料的选择 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 微型真空泵实验测试系统 | 第50-57页 |
| ·微型真空泵测试实验装置的搭建 | 第50-53页 |
| ·微型真空泵实验测试实验条件准备 | 第53-55页 |
| ·扩散泵油的选择 | 第53-54页 |
| ·真空测量仪器以及温度控制设备的选择 | 第54-55页 |
| ·实验操作以及实验结果分析 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第6章 单级喷嘴微型真空泵的设计与实验设计 | 第57-63页 |
| ·单级喷嘴微型真空泵的设计制作 | 第57-61页 |
| ·实验设计 | 第61-62页 |
| ·真空盒的设计 | 第61页 |
| ·毛细管连接法兰的设计 | 第61-62页 |
| ·实验设计操作 | 第62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第7章 结论与展望 | 第63-64页 |
| ·本文工作总结 | 第63页 |
| ·将来工作展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
