| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-14页 |
| 1.1 研究背景 | 第11页 |
| 1.2 国内外关于真空系统设计应用软件的开发的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 本课题的研究内容及研究意义 | 第13-14页 |
| 1.3.1 研究内容 | 第13页 |
| 1.3.2 研究目的与意义 | 第13-14页 |
| 第2章 真空系统设计计算 | 第14-33页 |
| 2.1 流态的判断 | 第14-15页 |
| 2.2 气体的流量 | 第15页 |
| 2.3 管道的流导 | 第15-24页 |
| 2.3.1 粘滞流态下管道流导的计算 | 第16-17页 |
| 2.3.2 分子流态下管道流导的计算 | 第17-19页 |
| 2.3.3 粘滞—分子流态下管道的流导计算 | 第19-20页 |
| 2.3.4 管道弯曲对流导的影响 | 第20-21页 |
| 2.3.5 管道流导计算中的平均压力取值的误差分析 | 第21-24页 |
| 2.4 抽气时间的计算 | 第24-30页 |
| 2.4.1 真空技术基本方程 | 第24-25页 |
| 2.4.2 真空系统的抽气方程 | 第25页 |
| 2.4.3 低真空抽气时间的计算 | 第25-28页 |
| 2.4.4 高真空抽气时间的计算 | 第28-29页 |
| 2.4.5 管道流导对抽气时间的影响 | 第29-30页 |
| 2.5 真空泵的选择与匹配计算 | 第30-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 Monte Carlo模拟计算分子流态下管道的传输几率 | 第33-49页 |
| 3.1 概述 | 第33页 |
| 3.2 圆直管的传输几率 | 第33-41页 |
| 3.2.1 基本假设及概率模型 | 第33-34页 |
| 3.2.2 具体步骤 | 第34-38页 |
| 3.2.3 编程计算 | 第38-40页 |
| 3.2.4 结果分析 | 第40-41页 |
| 3.3 圆截面直角弯管的传输几率 | 第41-48页 |
| 3.3.1 建立模型 | 第42-44页 |
| 3.3.2 编程计算 | 第44-45页 |
| 3.3.3 结果分析 | 第45-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 真空系统设计应用软件的开发及运行 | 第49-92页 |
| 4.1 应用软件的规划 | 第49-51页 |
| 4.1.1 需求分析 | 第49页 |
| 4.1.2 真系统设计的过程模型 | 第49-50页 |
| 4.1.3 真空系统设计应用软件的体系结构 | 第50-51页 |
| 4.1.4 功能模块划分 | 第51页 |
| 4.1.5 软件的开发 | 第51页 |
| 4.2 真空泵抽速曲线的数值化 | 第51-55页 |
| 4.2.1 真空系统抽速曲线的数值化的重要性 | 第51-53页 |
| 4.2.2 抽速曲线数值化的实现 | 第53-55页 |
| 4.3 真空系统设计应用软件界面的设计 | 第55-56页 |
| 4.4 真空系统设计应用软件的开发 | 第56-81页 |
| 4.4.1 启动模块 | 第56-57页 |
| 4.4.2 主窗体的创建 | 第57-58页 |
| 4.4.3 粗算主泵抽速模块 | 第58-61页 |
| 4.4.4 设计系统模块 | 第61-68页 |
| 4.4.5 抽气时间计算模块 | 第68-78页 |
| 4.4.6 极限真空度估算模块 | 第78-80页 |
| 4.4.7 保存工程模块 | 第80-81页 |
| 4.5 数据库的建立及其管理 | 第81-83页 |
| 4.5.1 数据库的创建 | 第81-82页 |
| 4.5.2 数据库的管理 | 第82-83页 |
| 4.6 程序代码计算准确性分析 | 第83-91页 |
| 4.6.1 运行实例 | 第83-85页 |
| 4.6.2 实验测量 | 第85页 |
| 4.6.3 运行结果与实验结果对比 | 第85-91页 |
| 4.7 本章小结 | 第91-92页 |
| 第5章 结论与展望 | 第92-94页 |
| 5.1 结论 | 第92页 |
| 5.2 展望 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 附录 | 第98-106页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第106页 |
