| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 真空泵简介 | 第11页 |
| 1.2 干式真空泵 | 第11-15页 |
| 1.2.1 干式真空泵简介 | 第11-13页 |
| 1.2.2 干式真空泵的研究现状与未来发展 | 第13-15页 |
| 1.3 研究的内容和意义 | 第15-17页 |
| 1.3.1 课题研究的内容 | 第15页 |
| 1.3.2 意义 | 第15-17页 |
| 第2章 多级罗茨干式真空泵与CFD模拟 | 第17-35页 |
| 2.1 罗茨干式真空泵 | 第17-21页 |
| 2.1.1 罗茨干式真空泵概述 | 第17-19页 |
| 2.1.2 罗茨干式真空泵的抽气原理 | 第19-20页 |
| 2.1.3 罗茨干式真空泵的构造 | 第20-21页 |
| 2.2 多级罗茨干式真空泵 | 第21-23页 |
| 2.3 多级罗茨干式真空泵的结构 | 第23-24页 |
| 2.4 罗茨干式真空泵的抽气速率计算 | 第24-30页 |
| 2.4.1 罗茨干式真空泵的抽速与极限真空度 | 第24-25页 |
| 2.4.2 罗茨真空泵抽气速率计算 | 第25-28页 |
| 2.4.3 名义抽气速率与容积利用系数 | 第28-30页 |
| 2.4.3.1 容积利用系数 | 第28-29页 |
| 2.4.3.2 名义抽气速率 | 第29-30页 |
| 2.5 数值模拟概述 | 第30-34页 |
| 2.5.1 数值模拟 | 第30-31页 |
| 2.5.2 计算流体力学(CFD)的数值模拟研究方法 | 第31-32页 |
| 2.5.3 CFD软件——ANSYS CFX概述 | 第32-34页 |
| 2.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 数值模型与模拟方法 | 第35-47页 |
| 3.1 稀薄气体流动状态分析 | 第35-39页 |
| 3.2 控制方程 | 第39-42页 |
| 3.3 湍流模型的合理选择 | 第42-46页 |
| 3.3.1 湍流模型 | 第42-45页 |
| 3.3.2 选择湍流模型 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 CFD数值模型建立及求解 | 第47-65页 |
| 4.1 基于Solidworks的流场三维实体模型的建立 | 第47-50页 |
| 4.1.1 多级罗茨泵的几何参数 | 第47-48页 |
| 4.1.2 实体模型的建立 | 第48-50页 |
| 4.2 多级泵腔内流场模型的动网格实现策略 | 第50-56页 |
| 4.2.1 动网格守恒方程 | 第50-51页 |
| 4.2.2 动网格更新方法的选择 | 第51-52页 |
| 4.2.3 各级泵腔动网格的实现 | 第52-56页 |
| 4.2.3.1 转子与泵腔之间网格更新 | 第52-55页 |
| 4.2.3.2 转子与转子之间网格更新 | 第55-56页 |
| 4.3 泵腔内流场模型的网格划分 | 第56-60页 |
| 4.3.1 网格类型选择 | 第57-58页 |
| 4.3.2 整体模型的网格划分参数 | 第58-60页 |
| 4.4 流场模型在CFX-Pre中的前处理 | 第60-62页 |
| 4.5 流场模型在CFX-Solver中的计算求解 | 第62-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-65页 |
| 第5章 CFD数值模拟结果分析 | 第65-83页 |
| 5.1 数值模拟结果验证 | 第65-67页 |
| 5.1.1 残差曲线 | 第65-66页 |
| 5.1.2 抽速对比 | 第66-67页 |
| 5.2 数值模拟结果分析 | 第67-69页 |
| 5.2.1 抽速 | 第67-68页 |
| 5.2.2 排气温度 | 第68页 |
| 5.2.3 排气压力 | 第68-69页 |
| 5.2.4 压缩比、容积效率 | 第69页 |
| 5.3 各级泵腔流场流动过程分析 | 第69-74页 |
| 5.4 各级泵腔内部压强场分析 | 第74-78页 |
| 5.5 各级泵腔内部温度场分析 | 第78-82页 |
| 5.6 本章小结 | 第82-83页 |
| 第6章 结论与展望 | 第83-85页 |
| 6.1 结论 | 第83页 |
| 6.2 展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
