半导体装备用真空泵屏蔽电动机设计与分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| ·真空泵简介 | 第9-10页 |
| ·屏蔽电动机的发展历史 | 第10-11页 |
| ·课题背景、意义和主要工作 | 第11-15页 |
| ·课题背景及意义 | 第11-13页 |
| ·本课题的主要工作 | 第13-15页 |
| 第2章 真空泵屏蔽电动机设计及电磁场仿真 | 第15-31页 |
| ·屏蔽电动机设计特点 | 第15-16页 |
| ·真空泵屏蔽电动机电磁设计 | 第16-17页 |
| ·真空泵屏蔽电动机热保护方式选择 | 第17-19页 |
| ·真空泵屏蔽电动机模态分析 | 第19-23页 |
| ·真空泵屏蔽电动机电磁场仿真 | 第23-25页 |
| ·电磁场仿真理论基础 | 第23页 |
| ·屏蔽电动机结构特征 | 第23-24页 |
| ·屏蔽电动机参数给定 | 第24-25页 |
| ·电磁场仿真结果分析 | 第25-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 真空泵屏蔽电动机温度场与应力场分析 | 第31-45页 |
| ·温度场数学模型 | 第31页 |
| ·温度场分析条件设定 | 第31-33页 |
| ·屏蔽电动机温度场三维模型 | 第31-32页 |
| ·温度场材料属性、热负荷、散热条件的给定 | 第32-33页 |
| ·温度场计算结果分析 | 第33-37页 |
| ·真空泵屏蔽电动机热应力分析 | 第37-39页 |
| ·热应力数学描述 | 第37-38页 |
| ·热应力分析条件设定 | 第38-39页 |
| ·应力场计算结果分析 | 第39-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 真空泵屏蔽电动机样机性能测试 | 第45-54页 |
| ·屏蔽电动机实验过程 | 第45-47页 |
| ·屏蔽电动机特性曲线对比 | 第47-51页 |
| ·屏蔽电动机试验性能汇总 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 在学研究成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
