| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| ·课题研究目的及意义 | 第12-13页 |
| ·国内外扩散泵及其性能检测技术发展情况 | 第13-16页 |
| ·自动测试系统发展及现状 | 第16-17页 |
| ·一般自动测试系统的组成 | 第17-18页 |
| ·本课题主要工作 | 第18-20页 |
| 第二章 扩散泵抽速自动测试原理研究 | 第20-30页 |
| ·基本概念 | 第20页 |
| ·定压法测扩散泵抽速原理 | 第20-22页 |
| ·扩散泵抽速的历史演变 | 第22-25页 |
| ·JB922-75规定的抽气速率计算公式 | 第23-24页 |
| ·GB6307.1-86规定的抽气速率计算公式 | 第24-25页 |
| ·扩散泵抽速自动测试原理 | 第25-27页 |
| ·扩散泵抽速自动测试原理叙述 | 第25-26页 |
| ·基于自动测试的抽速公式推导 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-30页 |
| 第三章 测试系统机械结构研究 | 第30-36页 |
| ·机械部分总体结构 | 第30-31页 |
| ·测试罩设计 | 第31-32页 |
| ·滴管设计 | 第32页 |
| ·系统功能拓展 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章 控制系统硬件设计及可靠性分析 | 第36-50页 |
| ·控制系统组成原理 | 第36-37页 |
| ·控制系统硬件组成 | 第37-43页 |
| ·西门子S7-200概述 | 第37-38页 |
| ·S7-200 PLC选型与配置 | 第38-40页 |
| ·微调阀控制电路 | 第40-41页 |
| ·滴管液位自动采集实现 | 第41-42页 |
| ·布局布线 | 第42-43页 |
| ·系统抗干扰分析 | 第43-44页 |
| ·基于故障树的控制系统可靠性分析 | 第44-47页 |
| ·故障树的构建 | 第45-47页 |
| ·故障树的定性分析 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-50页 |
| 第五章 上位机控制软件开发 | 第50-62页 |
| ·软件系统需求分析 | 第50-51页 |
| ·上位机软件系统总体设计 | 第51-53页 |
| ·软件平台的选择 | 第51-52页 |
| ·软件总体结构 | 第52-53页 |
| ·上位机软件程序设计 | 第53-61页 |
| ·系统操作界面 | 第54-57页 |
| ·抽速测试界面 | 第57-59页 |
| ·测试结果分析界面 | 第59页 |
| ·数据库管理界面 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 基于光折射原理的光纤液位传感器 | 第62-72页 |
| ·结构组成与工作原理 | 第62-63页 |
| ·光路系统数学模型的建立 | 第63-67页 |
| ·假设 | 第63页 |
| ·光路数学模型 | 第63-67页 |
| ·模型约束条件 | 第67页 |
| ·MATLAB实例仿真研究 | 第67-69页 |
| ·灵敏度和入射角之间的关系 | 第68页 |
| ·灵敏度和指示计内径及液体折射率的关系 | 第68-69页 |
| ·实验与结论 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第七章 PC与PLC自由口模式通讯实现 | 第72-90页 |
| ·S7-200与PC的通讯方式 | 第72页 |
| ·上位PC机与S7-200 PLC在自由通讯口模式下的通信 | 第72-74页 |
| ·下位机PLC通讯程序设计与实现 | 第74-84页 |
| ·下位机PLC通讯设置基本说明 | 第74-78页 |
| ·下位机PLC通讯主要程序模块介绍 | 第78-83页 |
| ·PLC自由端口通讯协议在实际项目中实现需注意的问题 | 第83-84页 |
| ·上位机PC通讯程序设计与实现 | 第84-88页 |
| ·上位机通讯实现基础知识 | 第84-85页 |
| ·上位机Visual Basic 6.0通讯程序设计 | 第85-88页 |
| ·本章小结 | 第88-90页 |
| 第八章 扩散泵抽速测试不确定度分析 | 第90-106页 |
| ·不确定度分析原理 | 第90-96页 |
| ·数学模型的建立 | 第90-91页 |
| ·不确定度的A类和B类评定及合成 | 第91-93页 |
| ·合成标准小确定度 | 第93-94页 |
| ·扩展不确定度的评定 | 第94-96页 |
| ·扩散泵抽速测试不确定度分析 | 第96-105页 |
| ·不确定度数学模型的建立 | 第96-97页 |
| ·单因素不确定度分析 | 第97-101页 |
| ·具体测压点不确定度计算 | 第101-104页 |
| ·抽速自动测试不确定度分析 | 第104-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 第九章 结论与展望 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-114页 |
| 致谢 | 第114-116页 |
| 攻读学位期间发表的论文及专利 | 第116页 |
