| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 干式真空泵 | 第11-12页 |
| 1.2 干式真空泵在国内外的研究现状和发展方向 | 第12-15页 |
| 1.3 课题研究的内容和意义 | 第15-17页 |
| 1.3.1 课题研究的内容 | 第15页 |
| 1.3.2 课题研究意义 | 第15-17页 |
| 第2章 干式真空泵理论 | 第17-31页 |
| 2.1 罗茨干式真空泵 | 第17-24页 |
| 2.1.1 罗茨真空泵的工作原理 | 第17-18页 |
| 2.1.2 罗茨真空泵抽气速率 | 第18-24页 |
| 2.1.2.1 理论抽速 | 第18-20页 |
| 2.1.2.2 实际抽速 | 第20-23页 |
| 2.1.2.3 名义抽速 | 第23-24页 |
| 2.2 稀薄气体流动状态分析 | 第24-27页 |
| 2.3 计算流体力学(CFD)概述 | 第27-28页 |
| 2.3.1 理论流体力学 | 第27页 |
| 2.3.2 实验流体动力学 | 第27页 |
| 2.3.3 计算流体力学(CFD) | 第27-28页 |
| 2.4 CFD流场分析的技术路线 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 泵腔流场瞬态模拟 | 第31-57页 |
| 3.1 泵腔设计参数 | 第31-32页 |
| 3.2 泵腔流场三维模型 | 第32-34页 |
| 3.3 网格划分 | 第34-36页 |
| 3.3.1 结构化网格 | 第34-35页 |
| 3.3.2 非结构化网格 | 第35页 |
| 3.3.3 流场模型网格划分 | 第35-36页 |
| 3.4 罗茨泵腔流场的数值模拟 | 第36-39页 |
| 3.4.1 CFD基本控制方程 | 第36-38页 |
| 3.4.1.1 三维质量守恒方程 | 第36-37页 |
| 3.4.1.2 三维动量方程 | 第37页 |
| 3.4.1.3 三维能量方程 | 第37-38页 |
| 3.4.2 流动控制方程 | 第38-39页 |
| 3.5 湍流模型 | 第39-41页 |
| 3.5.1 k-ε模型 | 第39-40页 |
| 3.5.2 RNG k-ε模型 | 第40-41页 |
| 3.6 边界条件与初始条件的设置 | 第41-44页 |
| 3.6.1 气体模型的选择 | 第41-43页 |
| 3.6.2 模拟条件设置 | 第43-44页 |
| 3.6.3 模型中域的设定 | 第44页 |
| 3.7 动网格方法 | 第44-53页 |
| 3.7.1 动网格方法的选择 | 第44-46页 |
| 3.7.2 转子与转子啮合区域网格的更新 | 第46-48页 |
| 3.7.3 转子与泵腔内壁间区域网格的更新 | 第48-53页 |
| 3.7.3.1 罗茨转子型线拟合函数 | 第49-51页 |
| 3.7.3.2 泵腔网格的更新 | 第51-53页 |
| 3.8 模拟结果与实际工况的对比 | 第53-55页 |
| 3.8.1 泵腔入口抽速数据的提取与拟合 | 第53-54页 |
| 3.8.2 模拟结果中的抽速值与实际抽速曲线的对比 | 第54-55页 |
| 3.9 本章小结 | 第55-57页 |
| 第4章 罗茨泵腔瞬态流场分析 | 第57-75页 |
| 4.1 模拟方案的改进 | 第57-58页 |
| 4.2 流场模拟结果验证 | 第58-61页 |
| 4.2.1 抽速对比 | 第58-59页 |
| 4.2.2 残差收敛 | 第59-61页 |
| 4.3 脉动性分析 | 第61-63页 |
| 4.4 泵腔内部气体的流动过程 | 第63-71页 |
| 4.5 泵腔内部的流场分析 | 第71-74页 |
| 4.5.1 泵腔内温度场分析 | 第71-72页 |
| 4.5.2 泵腔内压力场分析 | 第72-74页 |
| 4.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 转子动态受热变形分析 | 第75-87页 |
| 5.1 传热理论 | 第75-76页 |
| 5.2 传热模型 | 第76-78页 |
| 5.2.1 气体与转子之间的对流换热 | 第76-77页 |
| 5.2.2 转子内部热传导 | 第77页 |
| 5.2.3 流场与温度场的耦合 | 第77-78页 |
| 5.3 罗茨转子三维有限元模型 | 第78-80页 |
| 5.3.1 罗茨转子有限元模型的建立 | 第78-79页 |
| 5.3.2 罗茨转子模型单元类型与材料属性 | 第79页 |
| 5.3.3 热边界条件 | 第79-80页 |
| 5.4 罗茨转子受热变形模拟研究 | 第80-85页 |
| 5.4.1 罗茨转子温度场模拟分析 | 第80-82页 |
| 5.4.2 罗茨转子结构变形模拟分析 | 第82-85页 |
| 5.5 本章小结 | 第85-87页 |
| 第6章 结论与展望 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-95页 |
| 致谢 | 第95-97页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第97页 |