| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·课题研究背景 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-17页 |
| ·国外两种主要高真空干泵的介绍 | 第13-16页 |
| ·螺旋级转子的研究 | 第16-17页 |
| ·课题研究目的 | 第17-18页 |
| ·理论意义和实际应用价值 | 第18页 |
| ·本文工作 | 第18-19页 |
| 第2章 螺旋级型线理论及分析 | 第19-25页 |
| ·典型真空泵型线概述 | 第19-22页 |
| ·盘形分子泵 | 第19-21页 |
| ·牵引分子泵 | 第21-22页 |
| ·高真空干泵螺旋级转子型线的确定 | 第22-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 第3章 直接模拟蒙特卡洛法 | 第25-41页 |
| ·综述 | 第25-26页 |
| ·DSMC方法与Boltzmann方程关系 | 第25-26页 |
| ·DSMC方法基本假设 | 第26页 |
| ·直接模拟蒙特卡洛方法的原理 | 第26-38页 |
| ·DSMC方法中的分子运动问题 | 第26页 |
| ·网格划分和时间步长的确定 | 第26-28页 |
| ·DSMC方法中的边界问题 | 第28-31页 |
| ·DSMC方法中的碰撞问题 | 第31-38页 |
| ·LARSEN-BORGNAKKE能量转换模型 | 第38-39页 |
| ·小结 | 第39-41页 |
| 第4章 高真空干泵螺旋级转子内部流动的DSMC模拟过程 | 第41-65页 |
| ·建立几何模型 | 第41-42页 |
| ·网格划分 | 第42-45页 |
| ·模拟程序过程 | 第45-62页 |
| ·初始化流场 | 第47-49页 |
| ·计算分子的运动 | 第49-51页 |
| ·边界的设定 | 第51-59页 |
| ·分子的排序 | 第59-60页 |
| ·抽样计算分子的碰撞 | 第60-61页 |
| ·流场输出结果统计 | 第61-62页 |
| ·最大抽气系数的计算 | 第62页 |
| ·实验气体的选择 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-65页 |
| 第5章 模拟结果分析 | 第65-75页 |
| ·参数对传输几率的影响 | 第65-68页 |
| ·高度Z的影响 | 第65-66页 |
| ·开口角α的影响 | 第66-68页 |
| ·温度对抽气系数的影响 | 第68-70页 |
| ·通道表而温度的影响 | 第68-69页 |
| ·气体温度的影响 | 第69-70页 |
| ·其它因素的影响 | 第70-71页 |
| ·转速RPM的影响 | 第70-71页 |
| ·气体碰撞模型的影响 | 第71页 |
| ·抽速验算 | 第71-73页 |
| ·小结 | 第73-75页 |
| 第6章 结论与展望 | 第75-77页 |
| ·结论 | 第75-76页 |
| ·展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81-83页 |
| 附录 | 第83-90页 |