F-400/3500分子真空泵性能参数计算及结构设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·真空泵的分类及概况 | 第14-15页 |
| ·分子泵分类及发展历史 | 第15-17页 |
| ·分子泵分类 | 第15页 |
| ·分子泵发展历史 | 第15-17页 |
| ·国内分子泵发展现状 | 第17页 |
| ·本课题研究的意义和内容 | 第17-19页 |
| ·课题意义 | 第17-18页 |
| ·课题主要内容 | 第18-19页 |
| 第二章 涡轮分子泵的结构原理与抽气性能计算 | 第19-27页 |
| ·涡轮分子泵的工作原理 | 第19-20页 |
| ·叶列抽气性能参数 | 第20-21页 |
| ·单叶列抽气性能参数数值计算 | 第21-23页 |
| ·单叶列抽气性能表 | 第21-22页 |
| ·插值法 | 第22-23页 |
| ·组合叶列整体抽气性能计算 | 第23-26页 |
| ·最大压缩比计算 | 第23-24页 |
| ·组合叶列传输几率计算 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 F涡轮分子泵设计计算及结构设计 | 第27-52页 |
| ·F涡轮分子泵设计计算 | 第27-35页 |
| ·叶列初选及抽气性能插值计算 | 第28-32页 |
| ·分子泵叶列几何参数计算 | 第32-34页 |
| ·组合叶列抽气性能修正计算 | 第34-35页 |
| ·分子泵计算软件 | 第35-38页 |
| ·涡轮分子泵结构设计 | 第38-44页 |
| ·转子的结构设计 | 第39页 |
| ·转子的材料 | 第39页 |
| ·叶片的设计 | 第39页 |
| ·轴承和润滑 | 第39-41页 |
| ·间隙 | 第41-42页 |
| ·分子泵整体结构 | 第42-44页 |
| ·转子叶片机械性能分析 | 第44-50页 |
| ·ANSYS12.1简介 | 第44页 |
| ·模型建立与网格划分 | 第44-46页 |
| ·离心力分析 | 第46-49页 |
| ·热分析 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 牵引分子泵计算 | 第52-65页 |
| ·牵引分子泵概述 | 第52-53页 |
| ·单槽牵引分子泵计算 | 第53-57页 |
| ·多槽牵引分子泵计算 | 第57-63页 |
| ·分子流态下的抽气性能计算 | 第59-62页 |
| ·粘滞流态下的抽气性能计算 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 分子泵主要性能测试 | 第65-74页 |
| ·概述 | 第65页 |
| ·分子泵测试系统及装置 | 第65-69页 |
| ·分子泵测试系统 | 第65-66页 |
| ·前级泵选型 | 第66-67页 |
| ·测试罩 | 第67-68页 |
| ·真空计 | 第68-69页 |
| ·分子泵测试内容与方法 | 第69-73页 |
| ·最低工作压力 | 第69页 |
| ·抽气速率（体积流率）56 | 第69-72页 |
| ·压缩比 | 第72-73页 |
| ·临界前级压力 | 第73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| ·总结 | 第74-75页 |
| ·展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第79-80页 |
